Condiciones óptimas y análisis de sensibilidad para el diseño de un elemento óptico difractivo para litografía por escritura directa

En este trabajo se desarrolló un software que permite modificar la fase y la geometría de un elemento óptico difractivo. Adicionalmente se desarrolló un propagador de espectro angular que imprime en el plano focal un patrón de difracción. Una vez formado el patrón de difracción se midió el “Full Width Half Maximun” para obtener la resolución alcanzada. El propagador no supera la complejidad algorítmica (2). El orden que se seguirá es el siguiente: primero se realizará una análisis del estado del arte para observar como se han modificado los elementos ópticos difractivos tanto en su fase como en su geometría, luego se procederá a revisar la literatura en cuanto a las alternativas de propagadores que se han implementado para el análisis del campo óptico, se revisará la forma de medir el patrón de difracción formado en el plano focal de interés y se concluirá con los parámetros de fabricación óptimos para el elemento óptico difractivo diseñado. En la sección 3 de este trabajo se plantean los objetivos de investigación, en la sección 4 se describe la importancia del software de simulación y diseño desarrollado. En la sección 5 se realiza un análisis del estado del arte de dos elementos ópticos difractivos, la placa zonal de Fresnel y los Photon Sieve. En la sección 6 se explica en el marco teórico como se construye una placa zonal de Fresnel y cuáles son los criterios para su diseño. En esta misma sección se da una explicación de como construir un Photon Sieve o tamiz de fotones y sus factores importantes de diseño. Luego se presenta el método de propagación del campo óptico, el propagador del espectro angular y se da una breve discusión de porque se eligió este propagador. En la sección 7 se presentan los materiales y métodos que serán utilizados para desarrollar el software de simulación para el diseño de elementos ópticos difractivos. En la sección 8 se da una breve discusión y análisis de resultados. En la sección 9 se describen los módulos que conforman el software, en la sección 10 se presentan las conclusiones, en la sección 11 se presentan trabajos futuros y en la última sección la bibliografía