Atmalı plazma katodik ark yöntemi ile elde edilen ZnO ince filmlerin optik ve yapısal özellikleri

TEZ5865Tez (Yüksek Lisans) -- Çukurova Üniversitesi, Adana, 2006.Kaynakça (s.100-105) var.xi, 106 s. : res. ; 29 cm.Bu çalışmada Palslı Filtreli Katodik Vakum Ark Depolama yöntemi ile ZnO ince filmler oda sıcaklığında cam ve silisyum olmak üzere iki ayrı alttaban üzerine aynı kalınlık farklı basınçlarda ve aynı basınç farklı kalınlıklarda üretildi. Elde edilen filmlerin optik ve yapısal özelliklerinin kalınlık ve basınç değişiminden nasıl etkilendiği araştırıldı.In this work, ZnO thin films were produced on glass and silicon substrates by Pulsed Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition Method at room temperature for the same thickness at different pressure and for different thickness at the same pressure. Furthermore, the influence of thickness and pressure on the optical and structural properties were investigated for the produced ZnO thin films.Bu çalışma Ç.Ü. Bilimsel Araştırma Projeleri Birimi Tarafından Desteklenmiştir. Proje No:FBE.2006.YL.1