Optimisation de la collecte de chaleur d'un microgénérateur thermoélectrique planaire

Dans cet article, nous présentons des microgénérateurs thermoélectriques (μTEG) planaires réalisés en technologieSilicium compatible CMOS, et destinés à la récupération de toute forme d’énergie thermique. Ceux-ci utilisent desmatériaux faible coût, abondants et « eco-friendly ». La captation de la chaleur est effectuée à l’aide d’un concentrateur,en Silicium. La configuration « semi 3D » développée utilise des membranes suspendues et nécessite, pour éviter de lescasser, la mise en oeuvre de structures de maintien, appelées bossages. L’objectif de ce travail est d’évaluer l’améliorationdes performances de conversion des μTEG résultant de la réduction des pertes thermiques latérales suite à l’anodisationsélective de ces bossages. La simulation thermique de μTEGs intégrant de tels bossages en Si poreux montre que lespuissances générées pourront être augmentées jusqu’à 65%