Mikroschemų technologijų analizė

Knygoje pateikiamos žinios apie silicio vienpolių planariųjų KMOP ir dvipolių tranzistorių gamybos pagrindinius technologinius procesus, jų modeliavimą ir analizę taikant Silvaco Athena ir Atlas programų rinkinius, išnagrinėti vienpolių ir dvipolių tranzistorių technologinių procesų projektavimo pavyzdžiai ir atliktas gautų įtaisų voltamperinių charakteristikų tyrimas. Knyga skirta elektronikos ir kompiuterių inžinerijos studijų programų studentams, ji gali būti naudinga analogiškų krypčių studentams ir inžinieriams besidominantiems mikro ir nanoelektronikos technologijomis. Leidinys parengtas vykdant projektą „VGTU Elektronikos fakulteto I pakopos studijų programų esminis atnaujinimas“. Leidinio rengimą ir leidybą finansavo Vilniaus Gedimino technikos universitetas ir Europos socialinis fondas (sutartis Nr. VP1-2.2-ŠMM-07-K-01-047)