Add to ORKGDie Arbeit hat die Integration von piezoelektrischen PZT-Schichten in die Siliziumtechnologie zum Thema. Es wird ein spezielles Dünnschichtverfahren - das Gasflusssputtern - genutzt, um fünf bis 20 Mikrometer dicke PZT-Schichten herzustellen. Das Verfahren zeichnet sich durch vergleichsweise hohe Sputterraten aus und ist gleichzeitig kompatibel zur Siliziumtechnologie. Um die Leistungsfähigkeit des entwickelten Prozesses zu demonstrieren, wurde ein kompletter Prozessflow zur Herrstellung eines einfachen Membranaktuators entwickelt und durchgeführt. Im Anschluss wurden die Bauteile elektrisch und elektromechanisch characterisiert
Es wurden mittels MBE supraleitende elektrondotierte Kuprat-Schichten La2-xCexCuO4 und nominell undo...
Basierend auf der aktuellen Studienlage wurde versucht, Modellannahmen zum auditi- ven Sprachverstän...
Unter bezüglich Druck und Temperatur verbrennungstechnisch relevanten Bedingungen (1000 K < T < 2000...
Die Arbeit hat die Integration von piezoelektrischen PZT-Schichten in die Siliziumtechnologie zum Th...
In der Arbeit wird mit einem neuartigen Konzept versucht, die Effizienz von Solarzellen aus Dünnschic...
In dieser Dissertation wird eine zeitlich und räumlich hochauflösende Einzelatomdetektionsmethode f...
Ziel dieser Arbeit ist es, die funktionellen Eigenschaften von sechs Zellen des Colliculus superior ...
Die durch die Projektierung der Nationalstrasse N5 ausgelöste Grossgrabung der jungsteinzeitlichen S...
Die Temperaturabhängigkeit des Debye-Waller-Faktors wie er in Beugungsexperimenten einerseits und in...
In dieser Arbeit wurden Eigenspannungen und Mikrostrukturen von additiv gefertigten Bauteilen mittel...
Die Kapitel 1 bis 6 im ersten Teil dieses Skriptes beruhen auf einer Vorlesung Ökonometrie I, die zu...
Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wird gezeigt, wie ein Gebäude- und Anlagensimulationsprogramm mit ...
Exzitonen in äußeren Feldern sind ein wertvolles Modellsystem, um theoretische Vorhersagen über eine...
Ein Formalismus zur Dynamiksimulation von mechanischen Mehrkörpersystemen mit flächigen Reibkontakte...
Die Kombination des Weichteiltraumas mit einer CCI führte zu einem neuropathischen Schmerzbild, das ...
Es wurden mittels MBE supraleitende elektrondotierte Kuprat-Schichten La2-xCexCuO4 und nominell undo...
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