Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектахВ работе рассмотрено влияние лазерного воздействия в широком диапазоне энерговкладов на изменение морфологии поверхности поликристаллического кремния, его структуры. Показано, что при абляции в водной среде формируется ансамбль частиц разного размера от 500 нм до 3,5 мкм. Частицы не имеют огранки, что позволяет говорить об их аморфности. Обсуждены возможные механизмы образования частиц.The influence of laser action in a wide range of energy inputs on the morphology of the surface of polycrystalline silicon and its structure is considered. It is shown that, when ablation in an aqueous medium, an ensemble of particles of different sizes from 500 nm...
Рассмотрена возможность использования быстрой термической обработки для формирования ионнолегированн...
Рассмотрена возможность использования быстрой термической обработки для формирования ионнолегированн...
Секция 6. Современное оборудование и технологииОписана новая технология изготовления мощных СВЧ крем...
Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектахМето...
Секция 4. Пучковые методы формирования наноматериалов и наноструктурМетодами атомно-силовой микроско...
Секция 4. Пучковые методы формирования наноматериалов и наноструктурМетодами атомно-силовой микроско...
Секция 2. Радиационные эффекты в твердом телеМетодом просвечивающей электронной микроскопии обнаруже...
Методами электронного парамагнитного резонанса (ЭПР) и резерфордовского обратного рассеяния ...
Приведены результаты изучения влияния бомбардировки кремния ионами бора и кремния на его микротвердо...
Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектахПред...
Рассмотрена аттестованная методика определения в трихлорсилане и четыреххлористом кремнии массовых д...
Представлены результаты исследований влияния длительности термообработки (Т=430°С) на время жизни (т...
Представлены результаты исследований влияния длительности термообработки (Т=430°С) на время жизни (т...
Проведена оценка допустимой неравномерности облучения и разброса температуры по площади пл...
Исследована возможность осаждения в каналы пор пористого кремния легкоплавких металлов индия и олова...
Рассмотрена возможность использования быстрой термической обработки для формирования ионнолегированн...
Рассмотрена возможность использования быстрой термической обработки для формирования ионнолегированн...
Секция 6. Современное оборудование и технологииОписана новая технология изготовления мощных СВЧ крем...
Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектахМето...
Секция 4. Пучковые методы формирования наноматериалов и наноструктурМетодами атомно-силовой микроско...
Секция 4. Пучковые методы формирования наноматериалов и наноструктурМетодами атомно-силовой микроско...
Секция 2. Радиационные эффекты в твердом телеМетодом просвечивающей электронной микроскопии обнаруже...
Методами электронного парамагнитного резонанса (ЭПР) и резерфордовского обратного рассеяния ...
Приведены результаты изучения влияния бомбардировки кремния ионами бора и кремния на его микротвердо...
Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектахПред...
Рассмотрена аттестованная методика определения в трихлорсилане и четыреххлористом кремнии массовых д...
Представлены результаты исследований влияния длительности термообработки (Т=430°С) на время жизни (т...
Представлены результаты исследований влияния длительности термообработки (Т=430°С) на время жизни (т...
Проведена оценка допустимой неравномерности облучения и разброса температуры по площади пл...
Исследована возможность осаждения в каналы пор пористого кремния легкоплавких металлов индия и олова...
Рассмотрена возможность использования быстрой термической обработки для формирования ионнолегированн...
Рассмотрена возможность использования быстрой термической обработки для формирования ионнолегированн...
Секция 6. Современное оборудование и технологииОписана новая технология изготовления мощных СВЧ крем...