SIMS-analysis of the negative and positive charged clasters under the sputtering of the thin polymer films cesium and oxygen ions / A.I. Ivanov, A.V. Leontyev

Представлены экспериментальные результаты по травлению ряда полимерных пленок ионами кислорода и цезия Изучен выход положительно заряженных фрагментов с массовыми числами от 1-200 а.е. Получено, что более детальную информацию по картине деструкции полимерных пленок под действием ионных пучков можно получить при использовании ионов Cs+. При этом прекрасно наблюдаются основные углеводородные серии. Использование ионов О2+ усложняет расшифровку масс-спектра в виду наложения ряда линий. Полученные результаты позволили уточнить картину деструкции исследованных полимерных материалов при ионном травлении, что необходимо при внедрении сухих процессов в технологии микро- и наноэлектроники.Dynamic and static secondary ion mass spectroscopy (SIMS) investigations of some polymer materials are presented. Degassing of polymer components under oxygen and cesium sputtering and chemical modification during ion irradiation were investigated