Classification of the designs of microwave plasmatrones for technological application / S.V. Bordusov

Представлена выполненная на базе конструктивных особенностей СВЧ аппликаторов классификация СВЧ плазмотронов технологического назначения. Рассмотрены особенности типовых решений СВЧ аппликаторов электродного и безэлектродного типов. Разработанная классификация СВЧ плазмотронов по конструктивно-техническим признакам аппликаторов СВЧ энергии будет полезна не только при изучении и анализе известных технических решений плазменных источников этого класса, но и при проектировании и выборе типа плазменного источника для решения определенных технологических задач.A classification of microwave plasmatrones for technological application accomplished in view of the design features of microwave applicators is submitted. The specific features of typical designs of microwave applicators of the electrode and non-electrode types were considered. The developed classification of microwave plasmatrones in view of the design-technical characteristics of microwave energy applicators will be useful not only at the stage of studying and analysing well-known technical variants of the given type plasma sources, but also at the design stage and while choosing the type of plasma source to solve certain technical problems