Tribological properties of carbon coatings deposited on aluminium / V.V.Uglov, N.N.Cherenda, A.K.Kuleshov

В данной работе исследовано влияние давления азота в вакуумной камере на трибологические свойства углеродных покрытий, формируемых на алюминии методом катодно-дугового вакуумного осаждения. Проведены исследования элементного состава покрытий с помощью Резерфордовского обратного рассеяния и Оже-электронной спектроскопии. Установлено, что рост давления азота приводит к увеличению износостойкости углеродных покрытий. Концентрация азота в покрытии, осажденном при максимальном давлении азота в вакуумной камере (1.7 Ю 'П а), составляет 4 ат.%. В работе обсуждаются возможные причины изменения трибологических свойств.The effect of nitrogen pressure in a vacuum chamber on the tribological properties of carbon coatings formed on aluminium by means of cathodic arc vacuum deposition method was investigated in this work. Coatings element composition was determined with the help of Rutherford backscattering analysis and Auger electron spectroscopy. The findings showed that growth of nitrogen pressure led to the increase of carbon coatings wear resistance. Nitrogen concentration in the coating deposited at the maximum pressure of nitrogen in a vacuum chamber (1.7 10'1Pa) is equal to 4 at.%. The possible causes of tribological property changes are discussed in this work