Modification of cobalt structure by ion implantation / M.B.Karniychuk

В работе исследовано влияние имплантации ионов бора, азота, аргона и сурьмы на структуру поверхностных слоев поликристаллического кобальта. Определен химический состав включений на поверхности имплантированных образцов. Обнаружено появление значительных напряжений в матрицеThe influence of boron, nitrogen, argon and antimony ions implantation on the structure of polycrystalline cobalt was investigated