Vibrations de microsystèmes : analyse de la tension de collapse

International audienceOn se propose de déterminer la tension de collapse de transducteurs MEMS capacitifs. L’étude se rapporte à des membranes encastrées qui sont rectangulaires ou circulaires et soumises à une force électrostatique non-linéaire. La méthode exposée nous permet de déterminer sous forme analytique la déflexion de la membrane ainsi que la tension de collapse. Les résultats de notre modèle sont comparés avec ceux obtenus en utilisant un modèle de condensateur plan à plaques parallèles et force de pression uniforme