Control system for high-vacuum creation

Дипломна робота містить аркушів, рисунки, формули, додатки, креслення структурної схеми проектованого пристрою, креслення алгоритму роботи проектованого пристрою, креслення принципової електричної схеми проектованого пристрою, креслення функціональної електричної схеми. В роботі розглядається важливість одержання високого вакууму, призначення вакуумної системи електронного мікроскопа. Розроблена структурна схема пристрою і алгоритм його роботи, функціональна схема контролера вакуумної системи, розроблені принципові схеми функціональних блоків і проводиться розрахунок елементів