PERHITUNGAN KERAPATAN ION NITROGEN PADA PEMBENTUKAN FeN DALAM PROSES NITRIDASI PLASMA

PERHITUNGAN KERAPATAN ION NITROGEN PADA PEMBENTUKAN FeN DALAM PROSES NITRIDASIPLASMA. Telah dilakukan perhitungan kerapatan ion nitrogren pada pembentukan FeN dalam proses nitridasiplasma. Perhitungan menggunakan pengandaian derajat ionisasi dalam plasma α = 10-5, dan rumusan kekekalanmuatan dalam penghitungan cacah partikel ion nitrogen serta teori tumbukan ion nitrogen dengan target Fe dalamproses pembentukan FeN. Hasil perhitungan menunjukkan bahwa untuk tekanan operasi gas nitrogen denganjangkau 0,6 sampai 2 torr, maka jangkau kerapatan ion nitrogen adalah 1,6 – 3,5 109 partikel/cm3, dan jangkau rapatdaya 0,2 – 1,6 W/cm2. Sedangkan untuk pembentukan ikatan FeN, diperoleh cacah dari 0 sampai 1,4 105, untukjangkau suhu dari 0 sampai sekitar 6 104 KKata kunci : plasma, ion, tumbukan