PENGARUH SUHU PEMANASAN DAN WAKTU AGING TERHADAP SIFAT FISIS TiO2 YANG DISINTESIS MENGGUNAKAN METODE SOL GEL SPIN COATING

Titanium dioksida (TiO2) merupakan material semikonduktor tipe-n yang banyak diteliti dan digunakan pada berbagai aplikasi. Salah satu metode yang banyak digunakan dalam sintesis lapisan TiO2 adalah sol gel spin coating. Sol gel spin coating merupakan salah satu metode pembuatan lapisan tipis dari bahan polimer photoresist yang dideposisikan pada permukaan substrat untuk kemudian diputar dengan kecepatan konstan. Pada penelitian ini dilakukan sintesis lapisan TiO2 yang dideposisikan pada substrat kaca menggunakan metode sol gel spin coating dengan kecepatan putar 2500 rpm selama 30 detik. Prekursor yang digunakan dalam proses sintesis larutan TiO2 adalah Titanium butoxide yang dilarutkan dengan Etanol, HCl, dan air. Lapisan TiO2 yang dihasilkan dipanaskan dengan variasi suhu pemanasan 400 0C, 450 0C, dan 500 0C. Proses pemanasan pada lapisan TiO2 bertujuan untuk menghilangkan zat- zat pelarut, menumbuhkan kristal, serta menguatkan gaya adhesi antara larutan dengan substrat. Selain melakukan variasi suhu pemanasan, 3 juga dilakukan variasi waktu aging selama 0, 24, 48 dan 72 jam. Proses aging sangat berpengaruh terhadap sifat fisis, listrik dan optik lapisan. Dalam hal ini proses aging dapat membantu menghasilkan lapisan TiO2 yang yang terdeposisi secara homogen, halus, dan merata. Karakterisasi lapisan TiO2 yang dihasilkan menggunakan Spektrofotometer UV-Vis untuk menentukan absorbansi, X-Ray Difractometer (XRD) untuk mengidentifikasi jenis fasa, serta Scanning Electron Microscopy (SEM) untuk mengetahui morfologi permukaa