Sensori chimici integrati in silicio

Matrici di sensori chimici integrati in silicio potenzialmente fabbricabili in grandi volumi a basso costo ed accoppiabili con circuiti di elaborazione atti a formare microsistemi di diagnostica biochimica e biomedicale sono oggetto di intensa attività di ricerca e sviluppo, ed alcune prime realizzazioni stanno trovando il loro spazio in nicchie di mercato in rapida crescita. Questo lavoro intende illustrare i principi di funzionamento di questi sensori, con enfasi sugli ISFET (Ion Sensitive Field Effect Transistors) dato il loro interesse scientifico ed aplicativo, evidenziando le potenzialità e le attuali limitazioni in termini di prestazioni ed affidabilità operativa. Alcuni esempi di microsistemi biochimici recentemente sviluppati dagli autori nell`ambito di progetti europei vengono riportati come esemplificativi di applicazioni della sensoristica bio-chimica integrata in silicio nel monitoraggio ambientale che, con la biomedica, rappresenta il principale settore in cui questa tipololgia di microsensori potrebbe commercialmente affermarsi