Add to ORKG專利類型：發明專利國別：中華民國專利公開/公告號：I258868專利申請號：094117852國際分類號：H01L-031/0203專利權期間：20060721~20250530[[abstract]]本發明係有關於一種壓阻式壓力感測器(piezo-resistive pressure sensor)以及應用於壓阻式壓力感測器之新型晶片等級封裝方式(wafer level package)。本發明主要是利用高分子矽膠材料「聚二甲基矽氧烷」(polydimethylsiloxane, PDMS)，取代Pyrex #7740，作為壓力感測器壓力薄膜下方空腔結構(pressure cavity) 的密封材。本發明利用聚二甲基矽氧烷的成本低廉、製程快速與低溫製程之特性，具有降低壓力計製造成本、縮短封裝時間、提高感測器性能等優點
[[abstract]]無線感測網路是由許多感測節點(Sensor Node, SN)所組成，每個感測節點因受限通訊範圍，所以距離資料收集點(sink)較遠的 SN，資料傳遞方式，把資料逐步轉送到 s...
[[abstract]]By applying the etching via technology, this study proposes a novel front-side etching f...
[[abstract]]By applying the etching via technology, this study proposes a novel front-side etching f...
碩士電機工程學系[[abstract]]本論文主要研製一種具備壓阻式壓力感測器之電子式胎壓計，以單晶片微控制器為運算核心，將量測到之輪胎胎壓值顯示於液晶顯示器上，以單鍵開關即能簡易的操作，並提供三種壓...
[[abstract]]空氣動力實驗,往往需要量測模型所受擾動 性壓力的時間和空間分布。限於目前所使用的 壓力計因其感應面的大小和靈敏度,無法與實驗 模型的表面密合,尤其在曲面上更為困難。另一 在量測...
[[abstract]]空氣動力實驗,往往需要量測模型所受擾動 性壓力的時間和空間分布。限於目前所使用的 壓力計因其感應面的大小和靈敏度,無法與實驗 模型的表面密合,尤其在曲面上更為困難。另一 在量測...
[[abstract]]本文利用有限元素分析軟體ANSYS來分析一新式微型壓力感測器之壓力薄膜受力情形。依據其薄膜表面佈植之壓電阻受力形變及應力數值，直接推導出壓力感測器之理論輸出電壓靈敏度及非線性度...
基于微机电系统（MEMS）的硅微压力传感器是最早的商业化产品之一，谐振技术的MEMS压力传感器是目前精度最高的压力测量仪器，鉴于其测量精度高、稳定性好、抗干扰性好、数字化输出等优势，因此常被应用于航空...
碩士機電工程學系[[abstract]]壓電材料具有優良的機械能與電能轉換特性，應用的範圍相當廣，壓電陶瓷材料則具有體積小、響應快速、位移量小、消耗功率低等特色，壓電材料的性能參數是實際應用時選擇材料...
專利類型：發明專利國別：中華民國專利公開/公告號：200411153專利申請號：091136483國際分類號：G01L-001/22;G01B-007/16[[abstract]]可供量測機械結構中之...
碩士電機工程學系[[abstract]]摘 要 本文主要研製一個低耗能的無線胎壓檢測器，並增進其訊號傳輸功能。由於胎壓檢測器之主要電源來自電池，因此其電能功耗之管理便成為整個系統的技術關鍵。...
The sensor has a substrate including an insulation layer (108) arranged on a substrate layer (102), ...
[[abstract]]本論文實現一個以CMOS MEMS製作的電容式與壓阻式壓力感測器系統，將兩種感測器整合為單一結構，以PDMS包覆感測器結構，電容陣列結構作為壓阻感測器薄膜覆蓋區域，透過電容施壓...
[[abstract]]本文利用有限元素分析軟體ANSYS來分析一新式微型壓力感測器之壓力薄膜受力情形。依據其薄膜表面佈植之壓電阻受力形變及應力數值，直接推導出壓力感測器之理論輸出電壓靈敏度及非線性度...
A novel plastic packaging of a piezoresistive pressure sensor using a patterned ultra-thick photores...
[[abstract]]無線感測網路是由許多感測節點(Sensor Node, SN)所組成，每個感測節點因受限通訊範圍，所以距離資料收集點(sink)較遠的 SN，資料傳遞方式，把資料逐步轉送到 s...
[[abstract]]By applying the etching via technology, this study proposes a novel front-side etching f...
[[abstract]]By applying the etching via technology, this study proposes a novel front-side etching f...
碩士電機工程學系[[abstract]]本論文主要研製一種具備壓阻式壓力感測器之電子式胎壓計，以單晶片微控制器為運算核心，將量測到之輪胎胎壓值顯示於液晶顯示器上，以單鍵開關即能簡易的操作，並提供三種壓...
[[abstract]]空氣動力實驗,往往需要量測模型所受擾動 性壓力的時間和空間分布。限於目前所使用的 壓力計因其感應面的大小和靈敏度,無法與實驗 模型的表面密合,尤其在曲面上更為困難。另一 在量測...
[[abstract]]空氣動力實驗,往往需要量測模型所受擾動 性壓力的時間和空間分布。限於目前所使用的 壓力計因其感應面的大小和靈敏度,無法與實驗 模型的表面密合,尤其在曲面上更為困難。另一 在量測...
[[abstract]]本文利用有限元素分析軟體ANSYS來分析一新式微型壓力感測器之壓力薄膜受力情形。依據其薄膜表面佈植之壓電阻受力形變及應力數值，直接推導出壓力感測器之理論輸出電壓靈敏度及非線性度...
基于微机电系统（MEMS）的硅微压力传感器是最早的商业化产品之一，谐振技术的MEMS压力传感器是目前精度最高的压力测量仪器，鉴于其测量精度高、稳定性好、抗干扰性好、数字化输出等优势，因此常被应用于航空...
碩士機電工程學系[[abstract]]壓電材料具有優良的機械能與電能轉換特性，應用的範圍相當廣，壓電陶瓷材料則具有體積小、響應快速、位移量小、消耗功率低等特色，壓電材料的性能參數是實際應用時選擇材料...
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碩士電機工程學系[[abstract]]摘 要 本文主要研製一個低耗能的無線胎壓檢測器，並增進其訊號傳輸功能。由於胎壓檢測器之主要電源來自電池，因此其電能功耗之管理便成為整個系統的技術關鍵。...
The sensor has a substrate including an insulation layer (108) arranged on a substrate layer (102), ...
[[abstract]]本論文實現一個以CMOS MEMS製作的電容式與壓阻式壓力感測器系統，將兩種感測器整合為單一結構，以PDMS包覆感測器結構，電容陣列結構作為壓阻感測器薄膜覆蓋區域，透過電容施壓...
[[abstract]]本文利用有限元素分析軟體ANSYS來分析一新式微型壓力感測器之壓力薄膜受力情形。依據其薄膜表面佈植之壓電阻受力形變及應力數值，直接推導出壓力感測器之理論輸出電壓靈敏度及非線性度...
A novel plastic packaging of a piezoresistive pressure sensor using a patterned ultra-thick photores...
[[abstract]]無線感測網路是由許多感測節點(Sensor Node, SN)所組成，每個感測節點因受限通訊範圍，所以距離資料收集點(sink)較遠的 SN，資料傳遞方式，把資料逐步轉送到 s...
[[abstract]]By applying the etching via technology, this study proposes a novel front-side etching f...
[[abstract]]By applying the etching via technology, this study proposes a novel front-side etching f...