Auf dem aktuellen Stand der Technik stellen fundamentale physikalische Rauschprozesse eine signifikante Limitierung der maximal erreichbaren Empfindlichkeit in der Präzisionsmesstechnik dar. Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit dem Einfluss von thermischem Rauschen auf die Ortsauflösung ausgewählter Anwendungen. Dabei liegt der Fokus auf der Reduzierung des thermischen Rauschens durch eine gezielte Einflussnahme auf einen Materialparameter, den sogenannten mechanischen Verlust und den Einsatz tiefer Temperaturen. Neben dem Vergleich verschiedener amorpher und kristalliner Materialien werden Beschreibungsansätze für die Temperatur- und Frequenzabhängigkeit der jeweiligen mechanischen Verluste diskutiert. Dabei wurde versucht, die beo...