Innovative Verfahren zur Metrologie von Freiform Oberflächen

Wir stellen ein neuartiges Verfahren zur Vermessung und Charakterisierung optisch glatter Freiformoberflächen in Reflexion vor. Die Idee ist eine Erweiterung des Prinzips der Wellenfrontvermessung mittels Fourier optischer Systeme. Das Hauptmerkmal des Ansatzes ist der Verzicht auf den klassischen Strahlteiler. Das Prinzip und erste experimentelle Ergebnisse werden präsentiert