Studi Kekristalan Barium Strontium Titanat (Ba0,5sr0,5tio3) yang Didoping Magnesium dengan Metode Spin Coating

STUDI KEKRISTALAN BARIUM STRONTIUM TITANAT (Ba0,5Sr0,5TiO3) YANG DIDOPING MAGNESIUM DENGAN METODE SPIN COATING. Lapisan tipis Ba0,5Sr0,5TiO3 (BST) yang didoping Mg telah dibuat dengan metode Chemical Solution Deposition yang disiapkan dengan spin coating. Deposisi lapisan tipis BST pada substrat Si menggunakan spin coater dengan kecepatan putar 3000 rpmselama 30 detik. Suhu annealing yang digunakan pada penelitian ini adalah 800 oC. Karakterisasi, komposisi dan kekristalan lapisan tipis BST dilakukan menggunakan X-Ray Fluorosence (XRF) dan X-Ray Diffraction (XRD). Hasil XRF menunjukkan bahwa unsur-unsur pembentuk BST dan doping Mg telah terdeposit pada substrat Si. Hasil analisis Rietveld pada pola difraksi sinar X menunjukkan bahwa doping Mg mempengaruhi struktur kristal dan parameter kisi. Parameter kisi untuk BST murni dan BST yang didoping Mg 1% sama dengan data PDF-ICDD yaitu 3,947 Å. Sedangkan untuk BST yang didoping Mg 2 % dan 4 % sebesar 3,948