Ανάπτυξη και οπτικός χαρακτηρισμός λεπτών υμενίων InOX και ZnO

Χρησιμοποιώντας dc magnetron εναπόθεση σε υπόστρωμα corning glass (Corning 1707F low alkali) με μεταλικούς στόχους In και Zn ετοιμάσαμε λεπτά υμένια οξειδίου του Ινδίου και οξειδίου του Ψευδάργυρου Χρησιμοποιώντας φασματόμετρο UV/VIS πήραμε το φάσμα διάδοσης, έτσι ώστε να υπολογίσουμε τις οπτικές σταθερές των λεπτών υμενίων σε διαφορετικά πάχη καθώς και τον υπολογισμό του ενεργειακού χάσματος. Για το οξείδιο του Ινδίου, ο δείκτης διάθλασης είχε μέση τιμή 1.99 με ενεργειακό χάσμα στην περιοχή των 3.5 eV. Για το οξείδιο τον ψευδαργύρου, ο δείκτης διάθλασης είχε μέση τιμή 1.89 με ενεργειακό χάσμα στην περιοχή των 3.3 eV. Χρησιμοποιήσαμε φασματοσκοπία ελλειψομέτρου σε λεπτά υμένια οξειδίου του Ψευδαργύρου (200nm, 250nm), για την δημιουργία κεντρικού μοντέλου υπολογισμού οπτικών σταθερών, πάχους καθώς και της διηλεκτρικής σταθεράς.Indium Oxide and Zinc Oxide thin films have been prepared by reactive dc magnetron sputtering in oxygen plasma, using metallic In or Zn targets respectively. Films were deposited onto Corning 1707F low alkali glass substrates. Transmission spectrum has been obtained by UV/Vis spectroscopy, in order to determine the optical constants in a variety of thickness (600 – 1600 nm) and optical band gaps. For Indium oxide, refractive index had an average value of 1.99, the energy band gap was found to be 3.5±0.05 eV and its lattice permittivity in the region of 3.6 – 4.3. For Zinc Oxide, refractive index had an average value of 1.89, the energy band gap was found to be 3.21±0.05 eV and its lattice permittivity in the region of 3.3 – 3.8. Spectroscopic Ellipsometry measurements have been made on ZnO thin films with a variety of thicknesses (200 nm, 250nm), in order to create a model for the fitting of the measured values and evaluate the optical constants, thickness and their complex dielectric function