Analysis of curling probe for plasma diagnostics

Die CP besteht aus einer spiralförmigen Antenne, die flach in die Kammerwand eingebettet ist. Zur Messung der Plasmaparameter wird die CP mit einem frequenzabhängigen Signal durch einen NA angeregt. Das Resonanzverhalten ist abhängig von der Elektronendichte. Die CP schwingt bei zwei verschiedenen Frequenzen. Die doppelte Resonanzcharakteristik bietet der CP die Möglichkeit an, in unterschiedlichen Plasma-Regimen angewendet zu werden. Die CP wurde durch einen Slot-Resonator zwischen Plasma und Dielektrikum modelliert. Das „Modell des kalten Plasmas“ und die Maxwell-Gleichungen werden verwendet, um die EM Felder zu berechnen. Es wird ein mathematisches Modell angewendet und beide Arten von Resonanzen werden abgeleitet. Die analytische Studie zeigt eine gute Übereinstimmung mit den numerischen Ergebnissen der Sondenerfinder