The Plasma Absorption Probe

Entladungen in reaktiven Gasen haben zahlreiche Anwendungen, z.B. Schichtabscheidung (Oberflächenveredelung) oder anisotropes Plasmaätzen (Halbleitertechnologie). Die Elektronendichte \(n_{e}\) ist ein entscheidender Parameter zur Charakterisierung von Entladungsprozessen. Um die Bestimmung von \(n_{e}\) in erleichterter Weise durchführen zu können, wurde in neuerer Zeit die Plasmaabsorptionssonde entwickelt. Diese Arbeit stellt jetzt frühere Schwierigkeiten dieser Diagnostik vor und präsentiert eine erfolgreiche Lösung dieser Probleme. Hierzu wurden modellgestützte und experimentelle Untersuchungen zur Plasmaabsorptionssonde durchgeführt, die Beschreibung der Sonde erfolgt bei "first-principles" und die Analyse durch numerische Berechnungen. Es wurde ein Sondendesign entwickelt, dass optimiert ist für eine effiziente Bestimmung lokaler Elektronendichten. Die Anwendung der optimierten Sonde wurde unter verschiedensten Bedingungen demonstriert