Depth profiling by X-ray photoelectron spectroscopy

Eine nicht destruktive numerische Tiefenprofilierungsmethode mittels Röntgenphotoelektronenspektroskopie "Anregungsenergieaufgelöste XPS - ERXPS" wurde entwickelt. Die Intensitätsdaten wurden aus Läufen mit verschiedenen Anregungsenergien extrahiert und benutzt, um ein quantitatives Konzentrationstiefenprofil mittels Invertierung der Laplace-Transformation zu konstruieren. Die Methode wurde mit ARXPS verglichen und mit Hilfe von Referenzproben (selbstorganisierende Monoschichten (SAMs) auf glatten und rauen Goldoberflächen) überprüft. Es wird gezeigt, dass ERXPS die Schichtstruktur von SAMs aufgrund experimenteller Daten ohne \(\textit {a priori}\) Kenntnisse identifiziert und dass ERXPS viel weniger durch äußerliche Rauhigkeit beeinflusst ist als ARXPS. Die ERXPS wurde erfolgreich zur Untersuchung einiger Katalysatoren angewendet, z.B. Mischoxide \(MnMoO_{4}\), \(Fe_{2}(MoO_{4})_{3}\), \(ZrV_{2}O_{7}\); Palladium-Katalysatoren für die Alkinhydrierung, Gold-Platin-Partikel für Brennstoffzellen und verschiedene Zeolithe