Produção e Caracterização de Filmes Finos Produzidos por Spin Coating

Os materiais poliméricos, incluindo o Polimetacrilato de Metila (PMMA), são alternativas aos materiais inorgânicos na fabricação de dispositivos ópticos, incluindo fibras ópticas, guias de ondas, conectores ópticos, entre outros dispositivos, devido às características como baixo custo, fácil processamento, baixa temperatura de processo e produção em massa. Há várias técnicas que podem ser usadas para a produção de filmes finos. Dentre elas é possível citar deposição por casting, deposição por plama, spin coating, entre outras. A produção de filmes finos por spin coating é uma técnica bastante simples, reprodutiva e possuí a vantagem de obter espessuras bastante precisas através do controle de variáveis como concentração da solução, velocidade do spinner e taxa de evaporação do solvente. Esta técnica consiste na deposição de uma solução polimérica, soluto + solvente, sobre a superfície de um substrato, que está conectado ao prato giratório do spinner através de um sistema a vácuo. Após a deposição da solução, esse prato é acionado por um motor com rotação numa dada velocidade angular e em um tempo determinado. Desse modo, a solução se espalha e o solvente é evaporado formando um filme polimérico. De acordo com a escolha de variáveis acima citadas é possível obter filmes de espessuras e homogeneidade variadas. Porém, para aplicação desses filmes na indústria de microeletrônica, ou ainda em células solares, é de grande importância que esses filmes tenham espessuras adequadas e sejam uniformes, fatores que podem ser obtidos através de modificações nas condições de processamento ao se utilizar o Spin-Coating para deposição de filmes finos. Nesse sentido esse trabalho tem como objetivo produzir e caracterizar filmes poliméricos, utilizando a técnica de spin coating, para uso em microeletrônica.CNP