DC model and small signal model for LTPS TFT

低溫多晶矽(Low Temperature Poly-Silicon，LTPS)已經變成一種應用在主動矩陣液晶顯示器和主動矩陣有機發光顯示器上TFT的標準製程。想要達到有效的電路模擬，發展正確的模型為必然的趨勢。為了能模擬大數量的矩陣圖素和積體驅動電路，模型必須夠簡單以允許大規模資料的電路模擬。們的直流模型適用於N型和P型通道LTPS TFT。模型建立在物理基礎上，也提出了幾個重要的物理參數用來解釋物理現象對汲極電流的影響，這些參數和元件結構和製程有關。直流模型包含了所有的操作區：線性區、飽和區、Kink區。模型中也考慮了溫度及通道長度對電流的影響。論文也包含了電晶體的小訊號模型。我們利用Cold-FET 高頻量測方法，萃取電晶體外部寄生元件參數；再經由矩陣轉換求得內部本質元件參數；最後建立電晶體小訊號等效模型。Low-temperature poly-silicon (LTPS) is becoming a standard technology for the fabrication of thin-film transistors (TFTs) used in active matrix liquid crystal displays and in active matrix organic light emissive displays. In order to be able to simulate large number of matrix pixels or integrated drivers, this model is simple enough to allow simulator convergence. analytical model for the DC characteristics of both n- and p-channel LTPS TFT is described. Our approach results in a physically based model with some parameters, which are related to the device structure and fabrication process. The DC model describes all regimes of operation: linear, saturation, and Kink. The effects of temperature and channel length are also included in our model.his thesis also contains the small-signal modeling. This method consists in a direct determination of all the FET parasitic elements. The knowledge of these parasitic element values allows us to determine the intrinsic parameters after a few simple matrix manipulations. Then all the extrinsic and intrinsic components are determined.目 錄一章 導論 1.1 研究動機 1.2 發展現況 3.3 論文架構 4二章 低溫多晶矽薄膜電晶體基礎理論 5.1 液晶平面顯示器介紹 5.2 LTPS低溫多晶矽元件基本物理結構 9.3 低溫多晶矽成長方式 10.4 低溫多晶矽薄膜電晶體液晶平面顯示器優勢 12.5 低溫多晶矽未來發展 14三章 低溫多晶矽薄膜電晶體直流模型理論探討 15.1 簡介 15.2 載子速度飽合效應與通道長度調變效應 16.3 源極/汲極寄生電阻模型 19.4 自我熱效應 23.4.1 臨界電壓和場效漂移率 23.4.2 熱電阻的物理模型 24.5 Kink效應 29四章 低溫多晶矽薄膜電晶體直流模型與驗證 32.1簡介 32.2直流模型理論與驗證 33.2.1 臨界電壓模型 33.2.2 寄生電阻模型 34.2.3 通道長度調變效應 35.2.4 自我熱效應 36.2.5 Kink效應 37.3直流模型理論驗證 38五章 低溫多晶矽薄膜電晶體直流可尺寸化模型理論探討與驗證 42.1簡介 42.2直流可尺寸化模型理論探討 43.3直流可尺寸化模型理論驗證 44.4 結論 48六章 低溫多晶矽薄膜電晶體高頻小訊號模型建立 49.1簡介 49.2小訊號模型理論分析 50.3 外部寄生元件參數的萃取 51.3.1 萃取寄生電容 52.3.2 萃取寄生電阻 54.4 本質元件參數的萃取 56.5 元件模擬與結果分析 58.6結論 66七章 結論 67考文獻 6