奈米級三次元量測儀研製(3/3)─子計畫一：奈米級三次元量測儀結構之設計與分析

本計畫為整合型計畫『奈米級三次元量 測儀研製』之子計畫一：「奈米級三次元量 測儀結構之設計與分析」。本年為三年計畫 之第三年，主要目的為分析與量測奈米級三 次元量測儀之結構特性及其最佳化設計。首 先建立最終設計的量測儀之有限元素模 型，分析其靜態及動態特性，並進行最佳化 設計，接著以實驗量測其結構性能，與有限 元素分析的結果做比較。 本年度進行奈米級三次元量測儀之製 作及最佳化設計，並量測結構性能以驗證設 計及分析之正確性