Nano&Microtechnology

L'objectiu d'aquesta assignatura no és més que famialiaritzar els estudiants amb els darrers avenços en la nano/microtecnologia. Duran el curs es presentaran els diversos materials i procesos utilitzats per a la fabricació de microsensor i MEMS. A continuació s'en presentaran diverses aplicacions. La majoria d'aquestes tecnologies deriven dels circuits integrats, per tant es farà una introducció dels procesos estandard de la tecnologia microelectrònica. Llavors aquestes tecnologies s'aplicaran per desenvolupar microsesntors i microactuadors i el seu acondicionament. Finalment es presentarà també les últimes tècniques com la microstereolitografia o la softlitografia