Mesure de débit de gaz dans les microsystèmes

International audienceLes microsystèmes véhiculant des gaz trouvent des applications de plus en plus nombreuses dans des secteurs variés. La mesure fine de micro-débits gazeux est nécessaire, aussi bien pour pouvoir valider tel ou tel modèle de conditions aux limites, notamment dans le régime fréquemment rencontré de « slip-flow », que pour tester des microsystèmes nouveaux. On propose dans cet article un nouveau banc d'essai, qui présente pour principal avantage par rapports aux bancs existants d'effectuer une double mesure simultanée de débit, à l'amont et à l'aval du microsystème. Cette double mesure met en évidence plusieurs difficultés techniques non décelables par les systèmes conventionnels. Les premières mesures effectuées sur des microtubes de section circulaire et de diamètre de quelques dizaines de microns sont présentées et commentées