GAS PHASE DEPOSITION PROCESSES

U radu je obrađena tema postupci prevlačenja iz plinske faze u kojoj su obrađeni osnovni postupci toplinske obrade površinskih slojeva te posebno naglašeni postupci prevlačenja iz plinske faze. Opisan je postupak fizikalnog prevlačenja iz parne faze(PVD postupak), postupak kemijskog prevlačenja iz parne faze(CVD postupak), zatim postupak plazmom potpomognutog kemijskog prevlačenja iz parne faze (PVD postupak).Nakon pojašnjenja pojedinih postupaka, navedena su svojstva i primjeri primjene pojedinih slojeva.The topic of this paper is `gas-phasecoating´ which coverrs the basic procedures of thermal processing of surface layers, with secialemphas is on gas-phase coating procedures. The paper describesthe process of physical coatingfrom a gas phase, also known as physical vapour deposition (PVD-method), the process of chemical coating from a gas phase, also known as chemical vapor deposition (CVD-method). After the clarification of the individua procedures, the properties an dexamples of application of the individual layers are listed