Scanning electron microscope in analysis of thin films in cross-section

Pretražni elektronski mikroskop tip je elektronskog mikroskopa kod kojeg se slika dobiva pravilnim pomicanjem snopa elektrona po površini uzorka. Razni detektori najčešće se koriste pri proučavanju topografije, kompozicije te kristalne strukture uzorka. U ovoj radnji opisala sam princip rada pretražnog elektronskog mikroskopa i njegove sastavne dijelove. Također, predstavila sam primjenu pretražnog elektronskog mikroskopa u analizi tankih filmova narastanih tehnikom depozicije atomskih slojeva. Navedeni primjeri prikazuju kako se može odrediti debljina tako pripremljenih uzoraka te kako je moguće odrediti njihov kemijski sastav