Funktionale Schichten in Leiterplatten - Entwicklung von intelligenten Mikrovibrationssensoren in mehrdimensionaler Leiterplattentechnologie

Gegenstand der Arbeit sind kugelbasierte Mikrovibrationssensoren zur Bewegungserkennung. Sie werden zur Aktivierung elektronischer Systeme in Abhängigkeit ihres Bewegungszustandes genutzt und ermöglichen eine Reduktion der Energieaufnahme um einen Faktor 30 bei optischen Computermäusen. Zentraler Bestandteil der Arbeit sind die Herstellverfahren und Prozessketten zur Integration mechanischer Elemente und ungehäuster Siliziumchips in die Leiterplatte für den Aufbau der Sensoren