Aufbau und Eigenschaften von PVD-Hartstoffschichten in den Systemen Cr-Zr-O und Cr-Zr-O-N

Diese Arbeit beschreibt die Charakterisierung oxidischer PVD-Dünnschichten in den Systemen Cr-Zr-O und Cr-Zr-O-N, die mittels Hochleistungskathodenzerstäubens und unter Anwendung eines experimentellen materialkombinatorischen Ansatzes abgeschieden wurden. In Abhängigkeit der Zusammensetzung und der variierten Abscheideparameter treten hauptsächlich vier Phasen auf: eine Cr2O3-basierte Phase sowie drei ZrO2-basierte Phasen