Optical Measuring Technology Using Quadrant Photocells

鏡面加工された加工面の非接触計測方法としては，主に光学的方法，特にレーザ光の直進性を利用した光計測方法が多用されている．最近その受光素子として4分割フォトセンサを用いた計測技術が多数報告されている．これは，高分解能が得られる，広いダイナミックレンジが得られるなどの特徴によるものである．本報では，著者らの研究成果も含めて，4分割フォトセンサを用いて表面粗さや形状精度などの表面形状を測定する光計測法について解説する．小特集 先端素材開発研究センタ