Микроактюаторы, использующие энергию горения нанопористого кремния

Горение нанопористого кремния с межпоровым пространством, заполненным твердотельным окислителем, исследовался с целью его использования в качестве источника энергии в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Исследования показали, что в микросистемах с кремниевым чипом площадью 1,2 см2 может быть получен импульс 170 мН·с за счет применения структуры состоящей из двух кристаллов кремниевых пластин