Электрическое инициирование воспламенения и горения нано- структурированного кремния

В настоящее время существует актуальный вопрос защиты информации от несанкционированных доступов, для этого было проведено исследование, и создания прототипа кремниевой подложки КДБ-10 со слоем пористого кремния. Анодное травление осуществлялось в электрохимической ячейке с вольфрамовым катодом. Напряжение U=10В и плотность тока j=22,2 мА/см2 задавались источником постоянного тока. В качестве электролита использовался раствор 48% плавиковой кислоты HF и этилового спирта в объемном соотношении 3:1. Время травления образца составляло 45мин