Morphology and phase composition of the molybdenum and iIron oxides films on a substrate from anodic aluminum oxide

Представлены результаты исследования морфологии поверхности фазового состава тонких пленок оксидов молибдена и железа, сформированных на подложках из анодного оксида алюминия. Установлено образование поликристаллической пленки MoO3 с орторомбической кристаллической решеткой и размерами зерен от 100 до 500 нм при термическом окислении пленки металла в интервале температур 400−450 °C. При окислении пленки железа при температурах от 550 до 750 °C образуется поликристаллическая пленка α-фазы Fe2O3 (гематит) с ромбоэдрической кристаллической решеткой