Beitrag zum ganzheitlichen Bewerten von geometrischen Strukturen mit Tastschnittgeräten bis in den Nanometerbereich

Die Beschreibung von Oberflächeneigenschaften erfolgt durch Parameter, die die Funktion von Bauteilen oder Prozesseigenschaften für die Herstellung abbilden. Dabei können die gesamte geometrische Gestalt und/oder Teile der Oberfläche von Bedeutung sein. Die Dissertation stellt eine neue ganzheitliche Methode für die Bewertung von Oberflächen bis in den Nanometerbereich vor. Ausgehend von der Betrachtung der Oberfläche als geometrische Struktur ergeben sich Konsequenzen für die vollständige Erfassung mit Tastschnittgeräten. Neue Messbedingungen, die Reduzierung von Störeinflüssen und Veränderungen an den Messgeräten sind für die Erfassung bis in den Nanometerbereich notwendig. Eine ganzheitliche Bewertung von geometrischen Strukturen erfordert ein System mit dem alle Bestandteile auf die gleiche Art und Weise unabhängig von der Dimension betrachtet werden können. Hierfür bietet ein neues Einhüllendes System eine Strategie, mit der durch Trennung der Oberflächenbestandteile mit morphologischen Filtern einhüllende Oberflächen entstehen