Martensitic transformation in freestanding and supported Cu–Al–Ni thin films obtained at low deposition temperatures

In order to use the shape memory alloy Cu-Al-Ni in micro-actuators, freestanding thin films with martensitic transformation are required. Here we show that freestanding Cu-Al-Ni thin films with L21 structure, martensitic transformation and shape memory effect can be obtained using iron as a sacrificial layer. The Cu-Al-Ni films with best performance are obtained at deposition temperatures between 533 K and 563 K. The Fe layer can afterwards be removed selectively by electrochemical etching.Fil: Morán, Mauricio Javier. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Patagonia Norte; Argentina. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia del Área de Energía Nuclear. Instituto Balseiro; ArgentinaFil: Condo, Adriana Maria. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Patagonia Norte; Argentina. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia del Área de Energía Nuclear. Instituto Balseiro; ArgentinaFil: Soldera, Flavio. Universitat Saarland; AlemaniaFil: Sirena, Martin. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Patagonia Norte; Argentina. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia del Área de Energía Nuclear. Instituto Balseiro; ArgentinaFil: Haberkorn, Nestor Fabian. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Centro Científico Tecnológico Conicet - Patagonia Norte; Argentina. Comisión Nacional de Energía Atómica. Gerencia del Área de Energía Nuclear. Instituto Balseiro; Argentin