リアクティブスパッタリング法とは,スパッタリング中にターゲット元素と反応性ガスを反応させながら化合物薄膜を形成する方法である.当研究室では,この方法を用いて溶融法では作成不可能な組成系のガラス薄膜の合成を試みている.本稿では,リアクティブスパッタリング法によるセラミックス系材料の合成と,MoSi2ターゲットを用いて酸素雰囲気中でのリアクティブスパッタリング法によるMo-Si-O薄膜の合成と,スパッタリングにおける化合物ターゲットと金属ターゲットの関係について述べる.小特集 先端素材開発研究センタ
生物の特徴のひとつは,外界の環境変化を認識しこれに適応して生存しようとするところにある.生物は,大気中酸素濃度,気温,湿度,光といった環境からのストレスに適応する形で進化をとげてきた.二酸化炭素濃度の...
原子層単位で厚さと組成を制御して作る半導体超薄膜やこれを要素とした層状の量子マイクロ構造について、主要な電子の物性・機能と応用例を紹介するとともに、原子スケールで層状構造の界面を評価し,制御する研究の...
マルチメディアシステムは,メディアコンピューティングの分野で特に大きな注目を集めている.映像を中心とするマルチメディアシステムで重要な問題は,いかに情報の中身を認識してモデルをつくりデータベース化し,...
ダブル・パリア構造におけるクーロン・プロッケードの次の諸点に関して解説している.クーロン・ブロッケードとはどんな現象か? クーロン・ブロッケードはどんな条件が満たされると観測できるのか? 二重障壁構造...
超高速デバイスヘの応用を目指した,電子波干渉・回折によるホットエレクトロンの伝搬制御の可能性について述べる.コヒーレンスの観点からは,非熱平衝状態の電子によっても条件を選ぶことで干渉を起こさせることが...
光合成の初期過程を駆動する緑の色素クロロフィルは,同種分子間あるいは他分子との精妙な相互作用を介し構造タンパク質内部に納まった状態で固有の機能を果たす.とりわけ,光子エネルギーを電子エネルギーに切り換...
気象衛星NOAAより送信されるAVHRR画像は,データが大量であり,補正処理には膨大な処理時間を必要とする.そこで,この補正処理システムを並列計算機Symmetry上に実装し高速化を図った.実装は補正...
乱流構造の空間的対称性の破れと構造維持機構との関係を考察する.速度ベクトルと渦度ベクトルとの内積で定義されるヘリシティは対称性の破れを表すことができることから,3次元平均流をもつ乱流に共通した平均クロ...
半導体微細加工技術の進歩に伴い,最近量子細線,量子ドット構造が広く注目を集めている.本報告では,有機金属気相選択成長法を用いたGaAs量子細線の作製技術について議論する.われわれが作製したGaAs量子...
乱流ヘリクロシティ(速度と磁場揺らぎの相関関数)を基本とする電磁流体力学的ダイナモに基づき,地球磁場の維持機構が議論されている.本ダイナモにおいては,トロイダル磁場成分は地球の一様回転によるトロイダル...
近年,アトリウムと称されるガラスで覆われた巨大吹抜空間が数多く建築されるようになった.アトリウム空間の特徴として一般に,① 天丼が高い,② 日射が差し込む,③ 鉛直方向の温度分布が生じやすい,④ 空調...
空間的対称性の破れを伴う乱流中の構造およびその維持機構と擬スカラー不変量との関係を考察する.構造の存在は空間の対称性の破れを意味する.極性ベクトルと軸性ベクトルとの内積で定義される擬スカラー量ヘリシテ...
実際のクリーンルーム内には生産装置等さまざまな気流障害物が設置される。また吹出、吸込風量の調節も完全に均等にすることは困難であり、これらには相当のバラツキがある。これの擾乱要因が室内全体の気流・拡散性...
降水や気候の統計的な定常性を仮定して進められてきた河川水資源計画も,地球温暖化問題を契機として見直しを迫られている.一方で,より精度の高い洪水水害予測やより効率的な水資源利用のためにも気象気候分野に立...
建物周辺気流の数値シミュレーションの診断システムの開発を目的として行った一連の数値実験の結果について報告する。建物周辺気流の診断システムを確立するためには、各種計算条件の相違が建物隅角部の剥離のパター...
生物の特徴のひとつは,外界の環境変化を認識しこれに適応して生存しようとするところにある.生物は,大気中酸素濃度,気温,湿度,光といった環境からのストレスに適応する形で進化をとげてきた.二酸化炭素濃度の...
原子層単位で厚さと組成を制御して作る半導体超薄膜やこれを要素とした層状の量子マイクロ構造について、主要な電子の物性・機能と応用例を紹介するとともに、原子スケールで層状構造の界面を評価し,制御する研究の...
マルチメディアシステムは,メディアコンピューティングの分野で特に大きな注目を集めている.映像を中心とするマルチメディアシステムで重要な問題は,いかに情報の中身を認識してモデルをつくりデータベース化し,...
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半導体微細加工技術の進歩に伴い,最近量子細線,量子ドット構造が広く注目を集めている.本報告では,有機金属気相選択成長法を用いたGaAs量子細線の作製技術について議論する.われわれが作製したGaAs量子...
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