Add to ORKGDieses Paper berichtet über neuartige MEMS-Scanner für die Lasermaterialbearbeitung. Durch Beschichtung mit einer hoch reflektierenden dielektrischen Verspiegelung können im CW-Betrieb Laserleistungen bis zu 600 Watt dauerhaft übertragen werden, ohne den MEMS-Scanner zu zerstören. Um die erforderliche Ebenheit des resonant betriebenen Spiegels auch unter starken thermischen und mechanischen Belastungen sicherzustellen, ist eine steife 0,7 mm dicke Spiegelplatte notwendig. Durch Vakuumverkapselung wird die Dämpfung der bis zu 20 mm großen Spiegel minimiert und gleichzeitig optimale Dynamik erzielt
Die Lasertechnik hat sich in den vergangenen Jahren in vielen Bereichen der Technik eine Stellung er...
Zur Bestimmung von mechanischen Spannungen in Substraten oder Schaltungsträgern (3), die mit einem k...
Durch den Einsatz von Faserlaser ergeben sich infolge der beugungsbegrenzten Strahlqualität grundsät...
1. Problemstellung und Zielsetzung der Diplomarbeit Die im Rahmen dieser Diplomarbeit bearbeitete Au...
Die in den letzten Jahren stärker werdende Miniaturisierung industrieller Produkte erfordert Fertigu...
Die Oberflächenmodifikation mit Laserstrahlung erlaubt eine definierte Vorbehandlung von Klebefläche...
Die Energiewende, also der Übergang von fossilen Energieträgern und Kernenergie zu erneuerbaren Ener...
In der vorliegenden Arbeit werden die im Zusammenhang mit der Strahlablenkung stehenden Systemaspekt...
Die Optimierung des Betriebsverhaltens von Maschinen, geräten und Anlagen oder die steuerungstechnis...
Die zerstörungsfreie Prüfung unter Zuhilfenahme akustischer Methoden ermöglicht neben der reinen Dar...
Hohe Ortsauflösung durch Fokussierbarkeit auf wenige Mikrometer, geringe Wärmeeinbringung und hohe F...
Miniaturisierte und hochintegrierte Bauelemente mit besonderen Anforderungen an thermische Belastung...
Die Materialbearbeitung mit Lasern im Kilowattbereich erfordert eine hohe Strahlqualität. Diese wird...
Als flexibles und leistungsfähiges Fügewerkzeug ist der Laser seit langem in der Produktionstechnik ...
Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Entwicklung von mikromechanisch abstimmbaren, oberfläche...
Die Lasertechnik hat sich in den vergangenen Jahren in vielen Bereichen der Technik eine Stellung er...
Zur Bestimmung von mechanischen Spannungen in Substraten oder Schaltungsträgern (3), die mit einem k...
Durch den Einsatz von Faserlaser ergeben sich infolge der beugungsbegrenzten Strahlqualität grundsät...
1. Problemstellung und Zielsetzung der Diplomarbeit Die im Rahmen dieser Diplomarbeit bearbeitete Au...
Die in den letzten Jahren stärker werdende Miniaturisierung industrieller Produkte erfordert Fertigu...
Die Oberflächenmodifikation mit Laserstrahlung erlaubt eine definierte Vorbehandlung von Klebefläche...
Die Energiewende, also der Übergang von fossilen Energieträgern und Kernenergie zu erneuerbaren Ener...
In der vorliegenden Arbeit werden die im Zusammenhang mit der Strahlablenkung stehenden Systemaspekt...
Die Optimierung des Betriebsverhaltens von Maschinen, geräten und Anlagen oder die steuerungstechnis...
Die zerstörungsfreie Prüfung unter Zuhilfenahme akustischer Methoden ermöglicht neben der reinen Dar...
Hohe Ortsauflösung durch Fokussierbarkeit auf wenige Mikrometer, geringe Wärmeeinbringung und hohe F...
Miniaturisierte und hochintegrierte Bauelemente mit besonderen Anforderungen an thermische Belastung...
Die Materialbearbeitung mit Lasern im Kilowattbereich erfordert eine hohe Strahlqualität. Diese wird...
Als flexibles und leistungsfähiges Fügewerkzeug ist der Laser seit langem in der Produktionstechnik ...
Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Entwicklung von mikromechanisch abstimmbaren, oberfläche...
Die Lasertechnik hat sich in den vergangenen Jahren in vielen Bereichen der Technik eine Stellung er...
Zur Bestimmung von mechanischen Spannungen in Substraten oder Schaltungsträgern (3), die mit einem k...
Durch den Einsatz von Faserlaser ergeben sich infolge der beugungsbegrenzten Strahlqualität grundsät...