Add to ORKG该研究主要针对静电力驱动下的MEMS结构的数值模拟问题进行研究分析.在进行了综合的比较之后,首先确定了用边界元法(BEM)求解静电力驱动下的MEMS结构的力电耦合问题.和前人所提出的有限元—边界元混合法<'[1.2]>(FEM-BEM Hybrid Method)相比,用全边界元法有很多优点,如需要较少的内存和存储空间,计算所需的时间更短,只需在边界上划分二维网格而不需在整个区域内划分三维网格等等.在简述了和电场部分有关的背景知识之后,编写了边界元法计算机程序用以求解力电耦合问题,计算了几个典型的MEMS结构.通过自编程序与其他一些商业软件,如ANSYS,IntelliSuite的模拟结果的比较,说明该方法是可行有效的,从而为今后的研究提供了一个新的模拟方法和计算工具.
该文针对提高RF MEMS无源元器件的品质因数这一问题,在北大微电子学研究院实验条件的基础上实现了化学镀铜和化学镀镍工艺,并把它应用在RF MEMS无源器件的结构上.通过反复实验,摸索出了镀出优质薄铜...
微电子机械系统（MEMS）是多种学科的交叉融合，应用领域极为广泛。文章主要阐述了MEMS的设计、加工、封装与测试等技术及其在微／纳卫星、微型飞行器、微型机器人和纳米科技战士等方面的军事应用。中文核心期...
该论文对MEMS(Microelectromechanical Systems)系统设计的结点化模型进行了研究,建立了梁、集总弹簧,集总质量、平板质量、气隙、梳齿驱动和锚点等基本单元模型.选取位移(包...
微电子机械系统(MEMS)是集机械电子元件为一体具有传感、动作、控制操纵功能的集成系统。其结构由多层薄膜构成。它的制作工艺与宏观构件不同,是由薄膜刻蚀而制得的。制作过程中就可能形成残余应力。在去除牺牲...
主要论述了一种新型体硅工艺MEMS隧道加速度计的系统分析与设计,对加速度计敏感头与伺服反馈电路组成的系统进行系统建模,其中包含了结构的模型和反馈控制电路的模型.以系统模型作为基础,分析了器件工作所必须...
提高微机电系统(MEMS)固体波动陀螺仪性能的一个根本技术就是高品质因数(Q值)技术,分析了现有陀螺仪常用敏感元件(谐振子)和材料(熔融石英和硅等)的优缺点,发现要想进一步提高谐振子的Q值,除了优化谐...
小型PEM燃料电池电极有着比较复杂的细微结构,电极担负了收集电荷,传输燃料,催化剂载体和构架支撑的功能,介绍了一种新的带有燃料传输孔的硅片电极制造方法,并且在它的表面上生长了一层多孔硅薄膜,以利于燃料...
概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计和模拟过程，分析了MEMS CAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题，讨论了目前经常采用的各种模拟系 统的模拟形式和应 用范围。并结合静电微马达与微米...
本发明提供一种MEMS力学微探针及其制备方法，属于微电子机械系统(MEMS)加工技术领域。该探针包括：探针体和衬底，探针体和衬底通过固定锚点固定连接，探针体包括：T型探针头、着力质量块、弹性梁及标尺结...
论文综述了MEMS技术的发展概况,并对MEMS加速度传感器进行了总结.在系统设计上首先采用了创新的压阻检测、静电力反馈闭环伺服控制原理的加速度测量方法.阐述了系统的工作原理.建立了系统的数学模式,并推...
该文第一章对网络划分的各种方法做了比较分析,并提出了自己的算法,包括用格栅法进行布点;Delaunay三角剖分法连线;BubbleMeshing方法进行节点调整.这种算法的提出,是对有限元法的有益尝试...
高性能的测试系统对MEMS的研究和开发具有重大的现实意义。本文结合MEMS共性特性的测试需求,通过讨论部分典型的MEMS测试系统,阐述了MEMS测试系统的研究现状,分析了构建MEMS测试系统所需的若干...
本发明公开了一种MEMS陀螺电容读出电路中失调电容的补偿方法及电路，该补偿电路包括依次连接的电荷放大器、高通滤波器、同步解调电路、低通滤波器和一失调电容补偿反馈回路，该反馈回路由低通滤波器、可变增益放...
本论文的研究内容为微电子机械系统(MEMS)高精度加速度计关键加工工艺中的硅-硅直接键合工艺及四甲基氢氧化铵(TMAH)深腐蚀工艺。<br> 本文以硅...
本发明提供了一种MEMS压阻式压力传感器芯片及其制备方法。MEMS压阻式压力传感器芯片，是一个杯状结构，包括一个方形感压膜和周围的支撑部分在感压膜的最大应变区之作了四个压敏电阻，组成点桥来敏感压力的变...
该文针对提高RF MEMS无源元器件的品质因数这一问题,在北大微电子学研究院实验条件的基础上实现了化学镀铜和化学镀镍工艺,并把它应用在RF MEMS无源器件的结构上.通过反复实验,摸索出了镀出优质薄铜...
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该论文对MEMS(Microelectromechanical Systems)系统设计的结点化模型进行了研究,建立了梁、集总弹簧,集总质量、平板质量、气隙、梳齿驱动和锚点等基本单元模型.选取位移(包...
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主要论述了一种新型体硅工艺MEMS隧道加速度计的系统分析与设计,对加速度计敏感头与伺服反馈电路组成的系统进行系统建模,其中包含了结构的模型和反馈控制电路的模型.以系统模型作为基础,分析了器件工作所必须...
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微电子机械系统（MEMS）是多种学科的交叉融合，应用领域极为广泛。文章主要阐述了MEMS的设计、加工、封装与测试等技术及其在微／纳卫星、微型飞行器、微型机器人和纳米科技战士等方面的军事应用。中文核心期...
该论文对MEMS(Microelectromechanical Systems)系统设计的结点化模型进行了研究,建立了梁、集总弹簧,集总质量、平板质量、气隙、梳齿驱动和锚点等基本单元模型.选取位移(包...