Add to ORKG论文综述了MEMS技术的发展概况,并对MEMS加速度传感器进行了总结.在系统设计上首先采用了创新的压阻检测、静电力反馈闭环伺服控制原理的加速度测量方法.阐述了系统的工作原理.建立了系统的数学模式,并推导出传递函数.提出了静电刚度的概念.在结构设计上采用了具有限位过载保护和压膜阻尼调整的三明治(Sandwich)结构,同时实现了芯片级封装.在三明治结构的中间敏感结构层上设计了独特的梁膜结构,在保证结构在敏感方向上具有足够灵敏度的前提下,有效的减小了其他非敏感方向上的灵敏度.制定了新的版图设计规则,在完成该论文芯片版图设计的同时,为类似器件的版图设计提供了参考.研究分析了反馈放大电路,并在此基础上设计了系统的信号放大、反馈及力矩器电路.针对该项研究的特点,摸索出上整套自主的MEMS加工工艺,在整套工艺的设计上充分考虑了各个工艺环节间的相互影响,优化、简化工艺,从加工工艺上保证产品的性能指标和最终成品率.
基于微电子机械系统(MEMS)技术而发展起来的空域聚合酶链式反应(空域PCR)芯片／微装置由于其具有反应速度快、所需DNA样品体积小以及自动化程度高等优点，已经日益引起人们的关注。空域PCR芯片／微装...
基于微电子机械系统(MEMS)技术而发展起来的空域聚合酶链式反应(空域PCR)芯片／微装置由于其具有反应速度快、所需DNA样品体积小以及自动化程度高等优点，已经日益引起人们的关注。空域PCR芯片／微装...
随着微电了机械系统(MEMS)和纳电子机械系统(NEMS)的发展,微纳尺度下的粘着接触问题变得越发重要。许多MEMS器件的制备和运行都表明粘着接触是引起失效的主要因素,同样粘着接触也足影响纳尺度物体力...
主要论述了一种新型体硅工艺MEMS隧道加速度计的系统分析与设计 ,对加速度计敏感头与伺服反馈电路组成的系统进行系统建模 ,其中包含了结构的模型和反馈控制电路的模型。以系统模型作为基础 ,分析了器件工作...
微电子机械系统(MEMS)是集机械电子元件为一体具有传感、动作、控制操纵功能的集成系统。其结构由多层薄膜构成。它的制作工艺与宏观构件不同,是由薄膜刻蚀而制得的。制作过程中就可能形成残余应力。在去除牺牲...
本发明提供了一种MEMS压阻式压力传感器芯片及其制备方法。MEMS压阻式压力传感器芯片，是一个杯状结构，包括一个方形感压膜和周围的支撑部分在感压膜的最大应变区之作了四个压敏电阻，组成点桥来敏感压力的变...
本发明提供一种MEMS力学微探针及其制备方法，属于微电子机械系统(MEMS)加工技术领域。该探针包括：探针体和衬底，探针体和衬底通过固定锚点固定连接，探针体包括：T型探针头、着力质量块、弹性梁及标尺结...
该文针对提高RF MEMS无源元器件的品质因数这一问题,在北大微电子学研究院实验条件的基础上实现了化学镀铜和化学镀镍工艺,并把它应用在RF MEMS无源器件的结构上.通过反复实验,摸索出了镀出优质薄铜...
该研究主要针对静电力驱动下的MEMS结构的数值模拟问题进行研究分析.在进行了综合的比较之后,首先确定了用边界元法(BEM)求解静电力驱动下的MEMS结构的力电耦合问题.和前人所提出的有限元—边界元混合...
何谓微机电系统(MEMS) 为了说明什么是微机电系统(缩写为MEMS),首先来解释一下什么是机电系统.20多年以前,汽车还是一个单纯的机械系统,后来随着电子技术的发展,汽车的很多零部件(例如电子点火器...
小型PEM燃料电池电极有着比较复杂的细微结构,电极担负了收集电荷,传输燃料,催化剂载体和构架支撑的功能,介绍了一种新的带有燃料传输孔的硅片电极制造方法,并且在它的表面上生长了一层多孔硅薄膜,以利于燃料...
本发明涉及一种微机电系统(MEMS)电磁式能量采集器及制备方法，它采用体硅和表面微机械加工技术相结合的三维微机械加工方法，利用体硅微机械加工技术的方法刻蚀硅片V型槽，在V型槽内电镀能量采集器的永磁体(...
微纳机电系统(MEMS/NEMS)将处理热、光、磁、化学、生物等结构和器件通过微电子工艺及其他一些微加工工艺制作到芯片上,并通过与电路以及相互之间的集成来构筑复杂的微型系统.由于微纳机电系统具有高度的...
本文报道了一个为电容式微加速度计传感器信号处理而设计的全集成化的BD031 CMOS MEM信号处理电路.电路设计采用了对信号的差分电容采样方式和过采样技术、前置采样放大器高增益和低噪声设计措施、可调...
MEMS固体微推力器可以形成单元数量巨大的微推力器阵列,适合低成本微、纳卫星系统,是极具潜力的新型卫星推力器。为研究基于纳米铝热剂的MEMS推力器工作特性,开展了大气和真空点火实验。大气下的燃烧羽流与...
基于微电子机械系统(MEMS)技术而发展起来的空域聚合酶链式反应(空域PCR)芯片／微装置由于其具有反应速度快、所需DNA样品体积小以及自动化程度高等优点，已经日益引起人们的关注。空域PCR芯片／微装...
基于微电子机械系统(MEMS)技术而发展起来的空域聚合酶链式反应(空域PCR)芯片／微装置由于其具有反应速度快、所需DNA样品体积小以及自动化程度高等优点，已经日益引起人们的关注。空域PCR芯片／微装...
随着微电了机械系统(MEMS)和纳电子机械系统(NEMS)的发展,微纳尺度下的粘着接触问题变得越发重要。许多MEMS器件的制备和运行都表明粘着接触是引起失效的主要因素,同样粘着接触也足影响纳尺度物体力...
主要论述了一种新型体硅工艺MEMS隧道加速度计的系统分析与设计 ,对加速度计敏感头与伺服反馈电路组成的系统进行系统建模 ,其中包含了结构的模型和反馈控制电路的模型。以系统模型作为基础 ,分析了器件工作...
微电子机械系统(MEMS)是集机械电子元件为一体具有传感、动作、控制操纵功能的集成系统。其结构由多层薄膜构成。它的制作工艺与宏观构件不同,是由薄膜刻蚀而制得的。制作过程中就可能形成残余应力。在去除牺牲...
本发明提供了一种MEMS压阻式压力传感器芯片及其制备方法。MEMS压阻式压力传感器芯片，是一个杯状结构，包括一个方形感压膜和周围的支撑部分在感压膜的最大应变区之作了四个压敏电阻，组成点桥来敏感压力的变...
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何谓微机电系统(MEMS) 为了说明什么是微机电系统(缩写为MEMS),首先来解释一下什么是机电系统.20多年以前,汽车还是一个单纯的机械系统,后来随着电子技术的发展,汽车的很多零部件(例如电子点火器...
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本发明涉及一种微机电系统(MEMS)电磁式能量采集器及制备方法，它采用体硅和表面微机械加工技术相结合的三维微机械加工方法，利用体硅微机械加工技术的方法刻蚀硅片V型槽，在V型槽内电镀能量采集器的永磁体(...
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基于微电子机械系统(MEMS)技术而发展起来的空域聚合酶链式反应(空域PCR)芯片／微装置由于其具有反应速度快、所需DNA样品体积小以及自动化程度高等优点，已经日益引起人们的关注。空域PCR芯片／微装...
基于微电子机械系统(MEMS)技术而发展起来的空域聚合酶链式反应(空域PCR)芯片／微装置由于其具有反应速度快、所需DNA样品体积小以及自动化程度高等优点，已经日益引起人们的关注。空域PCR芯片／微装...
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