利用高能会聚电子束的辐照损伤能力,在300 kV高分辨透射电镜中成功加工出小于5 nm的超精细纳米结构.加工精度在特征尺寸和空间位置上可同时达到一个纳米.加工的纳米结构具有原子尺度的边界,并可以通过高分辨像直接监视纳米结构的形成过程.这种技术可以广泛应用于各种无机材料,尤其适用于无机化合物.结合自动控制,这种技术可以用于加工任意复杂的二维纳米结构.国家重点基础研究发展计划(973计划)中国科技核心期刊(ISTIC)中国科学引文数据库(CSCD)03167-1702
采用不同的方法裁剪高定向热解石墨(HOPG),制备纳米尺寸的石墨条.首先,发现用聚焦离子束(镓离子)刻蚀高定向热解石墨,可以得到边缘整齐程度在几十纳米的石墨条,另外,用电子束曝光和反应离子刻蚀的工艺,...
本文简介我们最近研制成功的超高真空(UHV)扫描隧道显微镜(STM)系统.该系统由于同时安装有扫描电子显微镜(SEM),可以使STM的针尖在SEM的引导下移到样品表面上任一感兴趣的地方去研究那里的纳米...
電子束微影廣泛應用在奈米結構的製作上。相較於傳統曝光顯影的技術，電子束微影可以提供高解析度的微影以用於奈米結構的製作與研究。經由電子束微影，最小的線寬可以到100奈米以下，這對於尖端的積體電路製程的研...
紫外光固化纳米压印是实现纳米结构批量复制的一种新技术.其特点是低成本和高分辨,而且可以达到极高的套刻精度.为了得到大面积图案的均匀复制,可用聚二甲基硅氧烷(PDMS)制备透光的压印软模板.其母版图案可...
在电子显微镜中对纳米材料和纳米结构进行原位测量是了解纳米材料的结构与性能关系的最重要手段,并且,在电子显微镜中操纵和加工纳米材料与纳米结构还可研究新结构和新器件.由于扫描电镜有大的样品室、可较容易地引...
主要研究了基于原子力显微镜(AFM)的场蒸发沉积加工方法,分析了影响沉积加工的因素。通过选择适当的针尖和样品间的距离、加工电压和探针运动速度等参数,实现了纳米点、纳米线及纳米字符等纳米结构的加工。纳米...
平成20~22年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書高圧Arガス中でのCuとグラファイトのレーザー蒸発法により,一次元ナノ複合構造,Cuナノワイヤーを完全に内包するカーボンナノチューブが...
研究成果の概要(和文): 本研究は, エレクトロスピニング(ES)ナノファイバによるインプリント(NFI)樹脂型の製造法を提案し, 得られたNFI樹脂型にナノサイズの粉末からなるペーストを充填し, 脱...
[[abstract]]本?文整合奈米壓印技術與傳統薄膜電晶體製程，製作奈米多通道薄膜電晶體，先利用奈米壓印技術在多晶矽上製作密集且線寬小的奈米多通道結構，再進行多晶矽薄膜電晶體製作，並藉由HP-41...
藉由具圖案矽基板可控制鍺薄膜局部熔點分佈，熱退火時，因矽基板與鍺薄膜熱膨脹係數差異，鍺薄膜於奈米洞陣列中所承受之壓力隨位置改變而不同，導致鍺薄膜中，熔點為一空間分佈而非定值；利用此特性，控制氧原子於鍺...
纳米材料具有与体相材料不同的独特的光、电、磁和力学性质，在多个领域有着广泛的应用前景。纳米材料的性质与应用与材料的尺寸、形貌和结构有着密切的关系。控制合成符合应用设计需要的特定尺寸、形貌和结构的纳米材...
半導体製造技術を援用してミクロの機械を作るマイクロマシニング技術が発達しており, マイクロマシンの実用化が期待されている。応用分野によっては, 厚くて頑丈な構造や三次元的に複雑な構造が要求される場合が...
[[abstract]]鋁模板已經被大量的使用在製造一維奈米結構。本研究中，我們利用鋁片在草酸溶液中進行二階段陽極處理來獲得自我組織的陽極氧化鋁模板。鋁片與陽極氧化鋁膜中間存在著阻障層限制了電化學沉積...
在本课题的研究中,提出了一种利用水溶性钼酸钠铵纳米线和纳米探针系统来制备微纳流体系统的方法.借助这种方法可制备长度、直径以及横截面可控的的纳米通道.对于选用SU-8和聚二甲基硅氧烷(PDMS)两种材料...
利用金溶胶纳米粒子为掩模，结合轻敲模式原子力显微镜（ＴＭ－ＡＦＭ）的局域氧化技术和化学湿法腐蚀，对Ｓｉ表面进行纳米尺度的结构加工，得到柱状和环状纳米结构．实验结果表明，氧化过程中ＡＦＭ针尖与样品平均间...
采用不同的方法裁剪高定向热解石墨(HOPG),制备纳米尺寸的石墨条.首先,发现用聚焦离子束(镓离子)刻蚀高定向热解石墨,可以得到边缘整齐程度在几十纳米的石墨条,另外,用电子束曝光和反应离子刻蚀的工艺,...
本文简介我们最近研制成功的超高真空(UHV)扫描隧道显微镜(STM)系统.该系统由于同时安装有扫描电子显微镜(SEM),可以使STM的针尖在SEM的引导下移到样品表面上任一感兴趣的地方去研究那里的纳米...
電子束微影廣泛應用在奈米結構的製作上。相較於傳統曝光顯影的技術，電子束微影可以提供高解析度的微影以用於奈米結構的製作與研究。經由電子束微影，最小的線寬可以到100奈米以下，這對於尖端的積體電路製程的研...
紫外光固化纳米压印是实现纳米结构批量复制的一种新技术.其特点是低成本和高分辨,而且可以达到极高的套刻精度.为了得到大面积图案的均匀复制,可用聚二甲基硅氧烷(PDMS)制备透光的压印软模板.其母版图案可...
在电子显微镜中对纳米材料和纳米结构进行原位测量是了解纳米材料的结构与性能关系的最重要手段,并且,在电子显微镜中操纵和加工纳米材料与纳米结构还可研究新结构和新器件.由于扫描电镜有大的样品室、可较容易地引...
主要研究了基于原子力显微镜(AFM)的场蒸发沉积加工方法,分析了影响沉积加工的因素。通过选择适当的针尖和样品间的距离、加工电压和探针运动速度等参数,实现了纳米点、纳米线及纳米字符等纳米结构的加工。纳米...
平成20~22年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書高圧Arガス中でのCuとグラファイトのレーザー蒸発法により,一次元ナノ複合構造,Cuナノワイヤーを完全に内包するカーボンナノチューブが...
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[[abstract]]本?文整合奈米壓印技術與傳統薄膜電晶體製程，製作奈米多通道薄膜電晶體，先利用奈米壓印技術在多晶矽上製作密集且線寬小的奈米多通道結構，再進行多晶矽薄膜電晶體製作，並藉由HP-41...
藉由具圖案矽基板可控制鍺薄膜局部熔點分佈，熱退火時，因矽基板與鍺薄膜熱膨脹係數差異，鍺薄膜於奈米洞陣列中所承受之壓力隨位置改變而不同，導致鍺薄膜中，熔點為一空間分佈而非定值；利用此特性，控制氧原子於鍺...
纳米材料具有与体相材料不同的独特的光、电、磁和力学性质，在多个领域有着广泛的应用前景。纳米材料的性质与应用与材料的尺寸、形貌和结构有着密切的关系。控制合成符合应用设计需要的特定尺寸、形貌和结构的纳米材...
半導体製造技術を援用してミクロの機械を作るマイクロマシニング技術が発達しており, マイクロマシンの実用化が期待されている。応用分野によっては, 厚くて頑丈な構造や三次元的に複雑な構造が要求される場合が...
[[abstract]]鋁模板已經被大量的使用在製造一維奈米結構。本研究中，我們利用鋁片在草酸溶液中進行二階段陽極處理來獲得自我組織的陽極氧化鋁模板。鋁片與陽極氧化鋁膜中間存在著阻障層限制了電化學沉積...
在本课题的研究中,提出了一种利用水溶性钼酸钠铵纳米线和纳米探针系统来制备微纳流体系统的方法.借助这种方法可制备长度、直径以及横截面可控的的纳米通道.对于选用SU-8和聚二甲基硅氧烷(PDMS)两种材料...
利用金溶胶纳米粒子为掩模，结合轻敲模式原子力显微镜（ＴＭ－ＡＦＭ）的局域氧化技术和化学湿法腐蚀，对Ｓｉ表面进行纳米尺度的结构加工，得到柱状和环状纳米结构．实验结果表明，氧化过程中ＡＦＭ针尖与样品平均间...
采用不同的方法裁剪高定向热解石墨(HOPG),制备纳米尺寸的石墨条.首先,发现用聚焦离子束(镓离子)刻蚀高定向热解石墨,可以得到边缘整齐程度在几十纳米的石墨条,另外,用电子束曝光和反应离子刻蚀的工艺,...
本文简介我们最近研制成功的超高真空(UHV)扫描隧道显微镜(STM)系统.该系统由于同时安装有扫描电子显微镜(SEM),可以使STM的针尖在SEM的引导下移到样品表面上任一感兴趣的地方去研究那里的纳米...
電子束微影廣泛應用在奈米結構的製作上。相較於傳統曝光顯影的技術，電子束微影可以提供高解析度的微影以用於奈米結構的製作與研究。經由電子束微影，最小的線寬可以到100奈米以下，這對於尖端的積體電路製程的研...
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