DEM技术(Deepetching,Electroforming and Microreplication )是继硅微加工技术和LIGA技术发展起来的一种全新的非硅三维微加工技术.该技术吸收了体硅微加工技术和LIGA技术的部分工艺,可对非硅材料进行三维微加工.目前利用该技术已获得了微复制模具,并已模压出多种高深宽比塑料微结构.该技术的开发成功,为微机电系统的产业化奠定了基础.中国科学院资助项目; 上海市教委"曙光计划"; 美国3M公司资助项目中国科学引文数据库(CSCD)05107-1091
采用铁碳微电解材料,研究其预处理实际印染废水的效果。通过单因素影响分析实验,对曝气/非曝气、反应初始pH、微电解材料投加量和反应时间等主要参数进行了优化分析。结果表明,在室温条件下,当气水比控制为2....
提出了一种基于非光敏型聚酰亚胺PI-5J的柔性薄膜神经微电极的制作方法,利用常规光刻技术设计和制作出了适合植入的柔性神经刺激微电极阵列,并通过离体实验对其进行了微电极的老化测试和电学特性测试,通过在体...
[[abstract]]EFAB ('Electrochemical FABrication') is a new micromachining process promising to rapidl...
提出一种利用回形针来制作三维微流控纸芯片的方法,能够适应多种不同的微流控纸芯片;利用自制的纸芯片比色检测装置,已用于牛血清白蛋白,Fe~(2+)的快速定量检测。牛血清白蛋白的线性范围是5~50μmol...
采用LTCC技术,可以获得替代采用硅或其他技术制作的微功能结构,简化工艺,降低成本.重点研究了内嵌三维(3D)微流道系统LTCC多层基板成型中的关键技术:热压和烧结,并进行工艺优化.利用优化的热压、烧...
本文对用于三维超出图形复制加工的约束刻蚀剂层技术进行了可行性研究。分析了刻蚀剂的扩出过程对电化学微细加工分辨率的影响，证明对刻蚀剂层进行约束可使该方法具里高敏感性，并成功地在gAAS单晶上进行了初步的...
專利國別：美國United States Patent: 6,221,227Application number: 09/454,066國際分類號：C25D 1/00; C25D 1/20; C25D...
半導体製造技術を援用してミクロの機械を作るマイクロマシニング技術が発達しており, マイクロマシンの実用化が期待されている。応用分野によっては, 厚くて頑丈な構造や三次元的に複雑な構造が要求される場合が...
随着MEMS技术的不断发展,微加工工艺的仿真和模拟越来越受到人们的关注.简要介绍了国外干法刻蚀工艺模拟工具的发展情况,主要包括美国的SPEEDIE、日本的MORDERN和DEER.最后简要介绍了国内开...
US 6,221,227 B1USA109/454,066A microfabrication process comprises the swelling of at least a hydroph...
[[abstract]]本計畫以三維動顯函有限元素程式分析金屬薄板微引伸成形，並以微拉伸試驗機擷取銅箔材料參數，帶入程式中進行圓杯微引伸與方杯微引伸之成形性分析，完成不同模具尺寸微引伸成形之沖頭負荷、...
碩士顯示技術研究所[[abstract]]本文利用具有可撓性的聚二甲基矽氧烷（PDMS）當作模仁來作轉印。在未使用脫膜劑情況下，將PDMS軟模仁用熱壓或紫外光固化轉印的方式，成功轉印微結構球面陣列圖案...
application/pdf博士学位論文の要旨及び審査結果の要旨 (Summary of Thesis(DR))422551 bytesT2H101838othe
介绍了一种新型的基于隧道效应的微型磁强计，对其关键工艺进行了分析和实验研究。利用薄片溶解工艺制作了大尺寸的薄膜(3mm×1mm)，并且在薄膜的两面都制作了图形结构，拓展了微机械工艺的...
微纳操作技术是在微/纳米尺度上制造具有特定功能结构与器件的方法,该技术获得广泛的关注和研究.本文阐述了微纳操作的概念、意义,介绍微纳操作的相关技术,以基于原子力显微镜(AFM)的机器人化微纳操作技术为...
采用铁碳微电解材料,研究其预处理实际印染废水的效果。通过单因素影响分析实验,对曝气/非曝气、反应初始pH、微电解材料投加量和反应时间等主要参数进行了优化分析。结果表明,在室温条件下,当气水比控制为2....
提出了一种基于非光敏型聚酰亚胺PI-5J的柔性薄膜神经微电极的制作方法,利用常规光刻技术设计和制作出了适合植入的柔性神经刺激微电极阵列,并通过离体实验对其进行了微电极的老化测试和电学特性测试,通过在体...
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提出一种利用回形针来制作三维微流控纸芯片的方法,能够适应多种不同的微流控纸芯片;利用自制的纸芯片比色检测装置,已用于牛血清白蛋白,Fe~(2+)的快速定量检测。牛血清白蛋白的线性范围是5~50μmol...
采用LTCC技术,可以获得替代采用硅或其他技术制作的微功能结构,简化工艺,降低成本.重点研究了内嵌三维(3D)微流道系统LTCC多层基板成型中的关键技术:热压和烧结,并进行工艺优化.利用优化的热压、烧...
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微纳操作技术是在微/纳米尺度上制造具有特定功能结构与器件的方法,该技术获得广泛的关注和研究.本文阐述了微纳操作的概念、意义,介绍微纳操作的相关技术,以基于原子力显微镜(AFM)的机器人化微纳操作技术为...
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提出了一种基于非光敏型聚酰亚胺PI-5J的柔性薄膜神经微电极的制作方法,利用常规光刻技术设计和制作出了适合植入的柔性神经刺激微电极阵列,并通过离体实验对其进行了微电极的老化测试和电学特性测试,通过在体...
[[abstract]]EFAB ('Electrochemical FABrication') is a new micromachining process promising to rapidl...
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