为了研究不同衬底条件对MEMS压阻传感器性能的影响,采用3种掺杂条件的衬底进行实验测试.在各步骤热过程后,对3种衬底条件下压阻区、引出区和保护框的方块电阻进行了测量和分析.通过对各部分方块电阻的测量可以看出,对于压阻区(P区),A#和B#的方块电阻在开始注入扩散时相差很小,而由于注入杂质在高温下进一步扩散,衬底掺杂浓度对扩散后杂质分布的影响加大,方块电阻在后续的热过程中差别增大.通过比较不同衬底条件下各个热过程后的压阻数据,发现在3种掺杂条件中,20-40Ω·cm的衬底最符合预期压阻的设计.此结论已用于指导实际产品生产.中国科技核心期刊(ISTIC)中国科学引文数据库(CSCD)03199-201
本文讨论了MEMS封装的基本要求和封装的技术特点,分析了直接键合封装和附带吸气剂封装两种封装方法,提出了一种采用金属管壳内置低温吸气剂的封装方法.文章还通过对MEMS惯性传感部件的出放气测量,揭示了封...
随着微电子技术的快速发展，微光机电系统已经越来越受到关注。MEMS微镜是众多微光学系统的核心元件。微镜在工作过程中，驱动臂会受到电压纹波、温度或电磁场不同程度的干扰，这使得微镜位置产生偏差，因此必须对...
[[abstract]]小而美的微機電系統(Micro-Electro-Mechanical Systems)技術，近年來已廣受注目。其技術略分為感測器(sensor)與制動器(actuator)二大...
针对体模式MEMS谐振器激励和响应信号的特点,设计集成了激励信号产生和微弱信号检测的传感测量系统.系统通过对谐振器的扫频激励和检测响应信号,可以准确测量谐振器的谐振频率和Q值特性.为了有效测量谐振器产...
讲述了一种用Coventorware对压阻式MEMS压力传感器进行有限元仿真的方法,用这种方法可以直接计算出传感器在额定压力下的信号输出.这种方法可以使MEMS压力传感器设计过程变得精确、直观和简单,...
压力传感器是在微机电系统领域最早开始研究并且产业化的微机电器件之一，微机电系统以微加工工艺为重点研究内容。本文主要对不同类型的微机电系统领域的压力传感器的相关部分进行设计和分析，并在研究相关微加工工艺...
主要讨论硅基单芯片集成的三轴压阻式MEMS加速度计芯片的建模与仿真.通过有限元软件ANSYS建立的结构模型可以较好的理解和分析所要设计的加速度芯片在承受任意不同轴向加速度所产生惯性力时的静态表现.利用...
Three kinds of substrates were used to investigate the performance of piezoresistive MEMS sensors in...
该论文对MEMS(Microelectromechanical Systems)系统设计的结点化模型进行了研究,建立了梁、集总弹簧,集总质量、平板质量、气隙、梳齿驱动和锚点等基本单元模型.选取位移(包...
化学机械抛光(Chemical&Mechanical Polishing,CMP)工艺已运用于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)中,并逐渐成为研制高...
随着MEMS(微机电系统)技术的发展,对于各种光学元件、压力传感器、加速度计等微型精密元件的年需求量已达数百万。微器件的加工与装配越来越引起人们的关注,许多研究单位对于微器件进行了研究与开发。微小零件...
随着MEMS(微机电系统)技术的发展,对于各种光学元件、压力传感器、加速度计等微型精密元件的年需求量已达数百万。微器件的加工与装配越来越引起人们的关注,许多研究单位对于微器件进行了研究与开发。微小零件...
结合MEMS技术的发展历史,概括了当今硅基MEMS加工技术的发展方向.指出表面牺牲层技术和体硅加工技术是硅基MEMS加工技术的两条发展主线;表面牺牲层技术向多层、集成化方向发展;体硅工艺主要表现为键合...
MEMS(micro-electromechanical systems)超声换能器(MEMS ultrasonic transducer,简称MUT)是采用微电子和微机械加工技术制作的新型超声换能器...
提高微机电系统(MEMS)固体波动陀螺仪性能的一个根本技术就是高品质因数(Q值)技术,分析了现有陀螺仪常用敏感元件(谐振子)和材料(熔融石英和硅等)的优缺点,发现要想进一步提高谐振子的Q值,除了优化谐...
本文讨论了MEMS封装的基本要求和封装的技术特点,分析了直接键合封装和附带吸气剂封装两种封装方法,提出了一种采用金属管壳内置低温吸气剂的封装方法.文章还通过对MEMS惯性传感部件的出放气测量,揭示了封...
随着微电子技术的快速发展，微光机电系统已经越来越受到关注。MEMS微镜是众多微光学系统的核心元件。微镜在工作过程中，驱动臂会受到电压纹波、温度或电磁场不同程度的干扰，这使得微镜位置产生偏差，因此必须对...
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[[abstract]]小而美的微機電系統(Micro-Electro-Mechanical Systems)技術，近年來已廣受注目。其技術略分為感測器(sensor)與制動器(actuator)二大...
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