对小到1 nm大到100 nm的"纳米尺度",目前并没有成熟的原位物理加工技术.我们演示高强度电子束技术在纳米尺度上应用于原位物理加工的潜力,将高亮度场发射透射电子显微镜的电子束汇聚到直径1 nm左右,可得到强度为1096 A/cm2量级的电子束.这样的电子束可被用来在直径几十纳米的单根金属或硅纳米线上实现结构修饰,切割出小孔、窄桥及缝隙等各类纳米尺度的图案结构.强度稍弱的电子束则可被用来实现在金属纳米线之间,或者金属纳米线与硅纳米线之间的焊接,也可被用于去除纳米线表面的氧化层.这些物理加工机制涉及高能电子穿越固体时各类非弹性散射造成的加热、非晶化、溅射、等离子气化等非线性效应.作为一项无污染且作用范围非常局域化的原位技术,它可直接应用于纳米结和纳米器件的修饰与制备.中国科技核心期刊(ISTIC)中国科学引文数据库(CSCD)06563-5692
本实用新型涉及机械压紧装置,具体地说是一种激光叠焊过程中压紧和校平板材的新型激光焊接压紧装置,安装于龙门架上,包括激光头、Y向滑台及前、后压紧梁,其中,前、后压紧梁可上下移动地设置于龙门架工作台的上方...
本发明属于IC装备铝合金结构件焊接领域，具体地说是一种IC装备铝合金结构件真空电子束焊接夹具，包括二维数控平台、横梁架、夹紧滑块、垫板及横板，横板通过立柱安装在二维数控平台上，在横板上设有调整工作距离...
[[abstract]]我們利用了簡單的設備，低成本且製程單純的方式，經過多次實驗，嘗試了不同的基板、不同的成長方式以及不同的奈米粒子等各種不同的複合物組合，我們成功的組合出了各種不同型態的奈米複合物...
用电子束致沉积(EBID)来制备各种纳米尺寸的结构在纳米材料的制备和器件构建方面有着良好的应用前景.相对于聚焦离子束(FIB),它具有对样品损伤小和所得结构尺寸更小等优点.此前,电子束致沉积的工作大多...
電子束微影已逐漸成為次世代半導體製造之重要研發趨勢。而在使用固定電子束寫入之無光罩微影系統時，圖形接合將是個具有挑戰性的研究方向。本論文為改善電子束微影載台所造成的圖形接合之誤差，改裝了一台市售的掃描...
電子束微影廣泛應用在奈米結構的製作上。相較於傳統曝光顯影的技術，電子束微影可以提供高解析度的微影以用於奈米結構的製作與研究。經由電子束微影，最小的線寬可以到100奈米以下，這對於尖端的積體電路製程的研...
在利用碳纳米管(CNT)制作纳米电子器件时,碳纳米管与金属电极的接触特性将决定器件性能.为此本文提出了一种利用原子力显微镜(AFM)进行碳纳米管焊接的新方法.仿真研究了探针电场的强度与分布,解释了焊接...
主要研究了基于原子力显微镜(AFM)的场蒸发沉积加工方法,分析了影响沉积加工的因素。通过选择适当的针尖和样品间的距离、加工电压和探针运动速度等参数,实现了纳米点、纳米线及纳米字符等纳米结构的加工。纳米...
Экспериментально определен размер зерна с помощью растровой микроскопии (РЭМ-106), а также проведено...
イオン照射によって半導体表面に誘起されるポーラス構造は、ナノ加工のボトムアップ的なアプローチとして注目されてきた。本研究では、特にサブMeV級のC60イオンをGaSbウェハーに照射して表面に形成され...
Секция 4. Формирование наноматериалов и наноструктур = Section 4. Formation of Nanomaterials and Nan...
在太陽能電池製作過程中，影響效率的主要因素有短路電流(Short-Circuit)損失、 開路電壓(Open-Circuit Voltage)損失及填充因子(Fill Factor)損失。其中主要影響...
在比较三代电子器件的基础上,说明纳电子器件是电子器件发展的新一代,它的主要特征是单电子行为和显著的量子效应.与真空电子器件、微电子器件相比,纳电子器件在信号加工中的主要特性有:(1)单电子,(2)保有...
重イオンビームは、それ自体が興味深い研究対象であると同時に、強力なツールでもある。特に1MeV以下の低エネルギー重イオンビームは、その照射効果を利用した加工･改質を行うためのツールとして半導体製造をは...
为了满足电子束光刻(EBL)对高分辨率、性能优秀抗蚀剂的需求,研究了将Calixarene衍生物作为电子束抗蚀剂在胶液配制、电子束曝光及显影等工艺过程中的相关技术.其中电子束曝光实验在JEOL JBX...
本实用新型涉及机械压紧装置,具体地说是一种激光叠焊过程中压紧和校平板材的新型激光焊接压紧装置,安装于龙门架上,包括激光头、Y向滑台及前、后压紧梁,其中,前、后压紧梁可上下移动地设置于龙门架工作台的上方...
本发明属于IC装备铝合金结构件焊接领域，具体地说是一种IC装备铝合金结构件真空电子束焊接夹具，包括二维数控平台、横梁架、夹紧滑块、垫板及横板，横板通过立柱安装在二维数控平台上，在横板上设有调整工作距离...
[[abstract]]我們利用了簡單的設備，低成本且製程單純的方式，經過多次實驗，嘗試了不同的基板、不同的成長方式以及不同的奈米粒子等各種不同的複合物組合，我們成功的組合出了各種不同型態的奈米複合物...
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電子束微影已逐漸成為次世代半導體製造之重要研發趨勢。而在使用固定電子束寫入之無光罩微影系統時，圖形接合將是個具有挑戰性的研究方向。本論文為改善電子束微影載台所造成的圖形接合之誤差，改裝了一台市售的掃描...
電子束微影廣泛應用在奈米結構的製作上。相較於傳統曝光顯影的技術，電子束微影可以提供高解析度的微影以用於奈米結構的製作與研究。經由電子束微影，最小的線寬可以到100奈米以下，這對於尖端的積體電路製程的研...
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重イオンビームは、それ自体が興味深い研究対象であると同時に、強力なツールでもある。特に1MeV以下の低エネルギー重イオンビームは、その照射効果を利用した加工･改質を行うためのツールとして半導体製造をは...
为了满足电子束光刻(EBL)对高分辨率、性能优秀抗蚀剂的需求,研究了将Calixarene衍生物作为电子束抗蚀剂在胶液配制、电子束曝光及显影等工艺过程中的相关技术.其中电子束曝光实验在JEOL JBX...
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本发明属于IC装备铝合金结构件焊接领域，具体地说是一种IC装备铝合金结构件真空电子束焊接夹具，包括二维数控平台、横梁架、夹紧滑块、垫板及横板，横板通过立柱安装在二维数控平台上，在横板上设有调整工作距离...
[[abstract]]我們利用了簡單的設備，低成本且製程單純的方式，經過多次實驗，嘗試了不同的基板、不同的成長方式以及不同的奈米粒子等各種不同的複合物組合，我們成功的組合出了各種不同型態的奈米複合物...
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