MEMS测试系统的研究现状与面临的挑战

高性能的测试系统对MEMS的研究和开发具有重大的现实意义。本文结合MEMS共性特性的测试需求,通过讨论部分典型的MEMS测试系统,阐述了MEMS测试系统的研究现状,分析了构建MEMS测试系统所需的若干关键技术,提出了目前MEMS测试领域面临的一些主要挑战。