Microelectronics Technology in The 21st Century

王阳元
张兴

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Publication date

January 1999

DOI

10.3969/j.issn.1006-6055.1999.04.002

Publisher

世界科技研究与发展

Journal

issn:1006-6055

Abstract

本文对21世纪微电子技术的发展趋势作了一个展望.本文认为21世纪初的微电子技术仍将以硅基CMOS电路为主流工艺,但将突破目前所谓的物理&quot;限制&quot;,继续快速发展;集成电路将逐步发展成为集成系统;微电子技术将与其他技术结合形成一系列新的增长点,例如微机电系统(MEMS)、DNA芯片等将得到突飞猛进的发展.具体地,超微细光刻技术、虚拟工厂技术、铜互连及低κ互连绝缘介质、高κ栅绝缘介质、SOI技术等将在近几年内得到快速发展.21世纪将是我国微电子产业的黄金时代.044-112