针对体模式MEMS谐振器激励和响应信号的特点,设计集成了激励信号产生和微弱信号检测的传感测量系统.系统通过对谐振器的扫频激励和检测响应信号,可以准确测量谐振器的谐振频率和Q值特性.为了有效测量谐振器产生的高频微弱位移电流信号,系统设计使用频谱搬移的测量方法.该方法通过把包含在高频信号中的有效信息搬移到低频端进行信号处理,可以提高信号抗噪声的能力,实现对微安量级的高频电流放大检测.国家高技术研究发展计划(863计划)中文核心期刊要目总览(PKU)中国科技核心期刊(ISTIC)中国科学引文数据库(CSCD)
结合MEMS技术的发展历史,概括了当今硅基MEMS加工技术的发展方向.指出表面牺牲层技术和体硅加工技术是硅基MEMS加工技术的两条发展主线;表面牺牲层技术向多层、集成化方向发展;体硅工艺主要表现为键合...
[[abstract]]本研究利用微機電系統技術開發高靈敏度之懸臂樑光聲光譜感測器，進行懸臂樑感測器元件設計、製作與測試。使用絕緣層上矽晶片中的氧化層當作犧牲層，利用感應耦合電漿離子蝕刻定義懸臂樑輪廓...
碩士機電工程學系[[abstract]]本篇論文主要針對傳統型與W型電容式射頻微機電開關，利用不同材料，在機械特性和電磁特性做完整的比較。在機械特性方面，我們以有限元素分析法，對開關做一套有系統的結構...
为了研究不同衬底条件对MEMS压阻传感器性能的影响,采用3种掺杂条件的衬底进行实验测试.在各步骤热过程后,对3种衬底条件下压阻区、引出区和保护框的方块电阻进行了测量和分析.通过对各部分方块电阻的测量可...
射频可调谐微电感在当前发挥着重要作用,它能满足高性能紧凑型器件设计的要求.对于器件设计者来说,可调电感能调谐电感量并能保证较高或适当的品质因素(Q值),这种能力在可调谐系统中比可调电容更有优势,因为可...
本論文提出了一個具有高訊雜比之電容感測電路的Z軸雙質塊互補式金屬氧化半導體與微機電系統微陀螺儀設計，本設計將建立在以台灣積體電路公司所提供的0.35微米互補式金屬氧化半導體與微機電系統製程，首先設計了...
Mikro-Elektro-Mekanik (MEMS) rezonatörler uzun zamandır sensör tasarımı için kullanılmaktadır ve art...
为了降低传感器的驱动电压，提高该器件的品质因数和信噪比，该文研究封装材料和工艺对真空封装性能的影响，针对一种微机电系统(MEMS)谐振式微型电场敏感结构芯片，采用独特的共晶键合技术，实现该传感器的芯片...
目前对MEMS开关和移相器的研究非常活跃.但是大部分的研究工作都集中在设计不同形状的开关结构和开关制作上,对开关静电力模型的研究还十分不够.文章利用材料力学知识,通过合理的假设和简化,推导出双晶结构梁...
This thesis presents a study of the dynamics and applications of a high frequency micromechanical (M...
本发明提供一种RF MEMS开关的互联结构的实现方法，属于射频微机电开关(RF MEMS Switch)的技术领域。该方法利用一次多晶硅的生长，制备RF MEMS开关的驱动、互联结构和接触部分，其中，...
本研究團隊之研究主軸為「以CMOS-MEMS 發展具無線傳輸能力之單晶片微機電系統技 術」(CMOS-MEMS technologies for single-chip wireless micros...
压力传感器是在微机电系统领域最早开始研究并且产业化的微机电器件之一，微机电系统以微加工工艺为重点研究内容。本文主要对不同类型的微机电系统领域的压力传感器的相关部分进行设计和分析，并在研究相关微加工工艺...
20世纪60年代发展起来的微电子技术和集成电路(IC)，已构成人类文明的重要基础。获得巨大成功的微电子技术引入微型机械领域，又引发了一场革命，而1987年由华裔留美学生冯龙生等人研制的转子直径为60μ...
提高微机电系统(MEMS)固体波动陀螺仪性能的一个根本技术就是高品质因数(Q值)技术,分析了现有陀螺仪常用敏感元件(谐振子)和材料(熔融石英和硅等)的优缺点,发现要想进一步提高谐振子的Q值,除了优化谐...
结合MEMS技术的发展历史,概括了当今硅基MEMS加工技术的发展方向.指出表面牺牲层技术和体硅加工技术是硅基MEMS加工技术的两条发展主线;表面牺牲层技术向多层、集成化方向发展;体硅工艺主要表现为键合...
[[abstract]]本研究利用微機電系統技術開發高靈敏度之懸臂樑光聲光譜感測器，進行懸臂樑感測器元件設計、製作與測試。使用絕緣層上矽晶片中的氧化層當作犧牲層，利用感應耦合電漿離子蝕刻定義懸臂樑輪廓...
碩士機電工程學系[[abstract]]本篇論文主要針對傳統型與W型電容式射頻微機電開關，利用不同材料，在機械特性和電磁特性做完整的比較。在機械特性方面，我們以有限元素分析法，對開關做一套有系統的結構...
为了研究不同衬底条件对MEMS压阻传感器性能的影响,采用3种掺杂条件的衬底进行实验测试.在各步骤热过程后,对3种衬底条件下压阻区、引出区和保护框的方块电阻进行了测量和分析.通过对各部分方块电阻的测量可...
射频可调谐微电感在当前发挥着重要作用,它能满足高性能紧凑型器件设计的要求.对于器件设计者来说,可调电感能调谐电感量并能保证较高或适当的品质因素(Q值),这种能力在可调谐系统中比可调电容更有优势,因为可...
本論文提出了一個具有高訊雜比之電容感測電路的Z軸雙質塊互補式金屬氧化半導體與微機電系統微陀螺儀設計，本設計將建立在以台灣積體電路公司所提供的0.35微米互補式金屬氧化半導體與微機電系統製程，首先設計了...
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为了降低传感器的驱动电压，提高该器件的品质因数和信噪比，该文研究封装材料和工艺对真空封装性能的影响，针对一种微机电系统(MEMS)谐振式微型电场敏感结构芯片，采用独特的共晶键合技术，实现该传感器的芯片...
目前对MEMS开关和移相器的研究非常活跃.但是大部分的研究工作都集中在设计不同形状的开关结构和开关制作上,对开关静电力模型的研究还十分不够.文章利用材料力学知识,通过合理的假设和简化,推导出双晶结构梁...
This thesis presents a study of the dynamics and applications of a high frequency micromechanical (M...
本发明提供一种RF MEMS开关的互联结构的实现方法，属于射频微机电开关(RF MEMS Switch)的技术领域。该方法利用一次多晶硅的生长，制备RF MEMS开关的驱动、互联结构和接触部分，其中，...
本研究團隊之研究主軸為「以CMOS-MEMS 發展具無線傳輸能力之單晶片微機電系統技 術」(CMOS-MEMS technologies for single-chip wireless micros...
压力传感器是在微机电系统领域最早开始研究并且产业化的微机电器件之一，微机电系统以微加工工艺为重点研究内容。本文主要对不同类型的微机电系统领域的压力传感器的相关部分进行设计和分析，并在研究相关微加工工艺...
20世纪60年代发展起来的微电子技术和集成电路(IC)，已构成人类文明的重要基础。获得巨大成功的微电子技术引入微型机械领域，又引发了一场革命，而1987年由华裔留美学生冯龙生等人研制的转子直径为60μ...
提高微机电系统(MEMS)固体波动陀螺仪性能的一个根本技术就是高品质因数(Q值)技术,分析了现有陀螺仪常用敏感元件(谐振子)和材料(熔融石英和硅等)的优缺点,发现要想进一步提高谐振子的Q值,除了优化谐...
结合MEMS技术的发展历史,概括了当今硅基MEMS加工技术的发展方向.指出表面牺牲层技术和体硅加工技术是硅基MEMS加工技术的两条发展主线;表面牺牲层技术向多层、集成化方向发展;体硅工艺主要表现为键合...
[[abstract]]本研究利用微機電系統技術開發高靈敏度之懸臂樑光聲光譜感測器，進行懸臂樑感測器元件設計、製作與測試。使用絕緣層上矽晶片中的氧化層當作犧牲層，利用感應耦合電漿離子蝕刻定義懸臂樑輪廓...
碩士機電工程學系[[abstract]]本篇論文主要針對傳統型與W型電容式射頻微機電開關，利用不同材料，在機械特性和電磁特性做完整的比較。在機械特性方面，我們以有限元素分析法，對開關做一套有系統的結構...
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