Влияние параметров импульсной работы вакуумно-дугового испарителя на концентрацию капель в формируемых пленках

Исследовано относительное содержание капельной фазы на поверхности конденсируемых титановых пленок при вакуумно-дуговом испарении титана в непрерывном и импульсном режимах горения дуги с различной скважностьюye